能量天平位移測(cè)量系統(tǒng)研制.pdf

1、隨著社會(huì)的發(fā)展，對(duì)質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)提出了新的要求，以前的實(shí)物質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，其穩(wěn)定性和復(fù)現(xiàn)的準(zhǔn)確度早已超過(guò)國(guó)際比對(duì)的不確定度，不能滿足現(xiàn)代工業(yè)和科學(xué)技術(shù)對(duì)計(jì)量基準(zhǔn)的要求。如果建立量子質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，準(zhǔn)確度至少應(yīng)該小于2×10-8，才有可能代替實(shí)物質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。提出的“能量天平”方案可以滿足建立量子質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)確度的要求，而在建立能量天平的過(guò)程中，需要知道z坐標(biāo)的精確數(shù)值，這就需要激光干涉儀來(lái)完成。 論文首先介紹了各種高精度的激光干涉儀及其發(fā)展現(xiàn)狀，在此

2、基礎(chǔ)上提出高精度共模抑制偏振激光干涉測(cè)量系統(tǒng)。 穩(wěn)頻氦氖激光器保證了光源的穩(wěn)定性，測(cè)量光路采用整體式的布局，提高了測(cè)量系統(tǒng)的穩(wěn)定性和靈敏度；光程差放大技術(shù)，提高了系統(tǒng)的分辨率；利用偏振光移相和共模抑制的方法，對(duì)干涉儀四路相互正交的信號(hào)進(jìn)行差分處理，減小光強(qiáng)漂移以及環(huán)境變化對(duì)系統(tǒng)的影響。 在干涉信號(hào)的處理上，設(shè)計(jì)光電探測(cè)電路，實(shí)現(xiàn)干涉信號(hào)的采集和預(yù)放大，設(shè)計(jì)后級(jí)處理電路，對(duì)信號(hào)實(shí)現(xiàn)直流偏移調(diào)節(jié)，運(yùn)算放大和濾波等功能；通過(guò)A