版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、鍵合是制造微流控芯片的關鍵環(huán)節(jié)之一,基片上的微結構只有通過鍵合才能形成封閉的微通道網絡,鍵合在很大程度上決定了芯片的制作質量。將聚合物超聲波焊接技術引入到聚合物微流控芯片的鍵合能大大提高微流控芯片的鍵合效率,超聲波的局部加熱使得微結構以及芯片整體鍵合前后變形很小,此外該方法還具有不需要中間介質、鍵合強度高、生物兼容性好等優(yōu)點。但是目前采用超聲波鍵合聚合物微器件尚停留在小面積封接微閥、連接導管等應用上,微流控芯片整體鍵合尚無報道。此外,將
2、傳統(tǒng)的聚合物超聲波焊接運用于關鍵尺寸在微米量級的微流控芯片的鍵合時,鍵合精度難以滿足要求。因此本文基于聚合物在超聲波作用下的分段產熱機理,提出鍵合過程非熔融控制方法,實現(xiàn)高精度的聚合物微流控芯片非熔融整體鍵合。
首先,本文從聚合物微流控芯片超聲波鍵合相關理論和實驗研究出發(fā),提出一種聚合物微流控芯片超聲波微熔融鍵合方法,設計了適用于該方法的面接觸導能筋結構,以延緩熔體產生速率,通過對聚合物超聲波鍵合過程進行分階控制,實現(xiàn)微熔
3、融鍵合目的,避免熔融物堵塞微通道。超聲波微熔融鍵合方法采用振幅較高,輸入到焊接區(qū)域的能量較大,局部容易因過熱出現(xiàn)氣泡等質量問題,因此提出基于局部溶解性激活和熱輔助兩種聚合物微流控芯片超聲波非熔融鍵合方法?;诰植咳芙庑约せ畹某暡ㄦI合方法是利用超聲波局部產熱原理和溶劑的溫變溶解特性來實現(xiàn)對微流控芯片的封接,導能筋在焊接過程中起到能量引導和集中作用,因此導能筋存在的部位將是鍵合過程熱源產生的部位,通過對導能筋的設計達到使熱量產生在需要鍵合
4、的部位的目的。所用溶劑在常溫下對芯片基體材料不產生溶解作用,而在低于材料玻璃轉化溫度的某溫度段對基體材料產生溶解,這樣才會隨著超聲作用下鍵合界面溫度的升高,溶劑對材料的溶解性被激活來實現(xiàn)芯片的有效鍵合。熱輔助超聲波鍵合方法是利用材料在玻璃轉化溫度附近鍵合界面分子的擴散作用,在壓力作用下界面分子運動并相互纏結達到使界面聯(lián)接的目的。鍵合前通過熱板加熱聚合物材料到玻璃點轉化溫度Tg以下的某溫度值,并在外部壓力的作用下使得聯(lián)接表面緊密接觸,然后
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 聚合物微流控芯片超聲波熔融鍵合技術研究.pdf
- 聚合物微流控芯片模內鍵合微通道變形研究.pdf
- 塑料微流控芯片超聲波鍵合機理的仿真與實驗研究.pdf
- 聚合物微流控芯片模內鍵合溫度控制與鍵合工藝研究.pdf
- 應用于聚合物微器件封裝的超聲波鍵合系統(tǒng).pdf
- 微流控芯片超聲波鍵合能量引導微結構設計與工藝.pdf
- 模內鍵合聚合物微流控芯片的微通道變形分析及工藝參數優(yōu)化.pdf
- 聚合物微流控芯片脫模過程研究.pdf
- 聚合物微流控芯片熒光增強微透鏡陣列研究.pdf
- 復雜結構聚合物微流控芯片制作工藝研究.pdf
- 聚合物微流控芯片熱壓工藝及理論研究.pdf
- 超聲波對微流控芯片注塑成型質量影響的研究.pdf
- 微壓印聚合物微流控芯片的傳熱模型及實驗研究.pdf
- 聚合物微流控芯片制作關鍵技術研究.pdf
- 聚合物微結構超聲波壓印方法及機理研究.pdf
- 聚合物微流控芯片輔助激光加工的重鑄物研究.pdf
- 聚合物微流控芯片的激光加工技術研究.pdf
- 基于PMMA的微流控芯片鍵合技術研究.pdf
- 集成微流PCR聚合物芯片的研究.pdf
- 全自動聚合物微流控芯片壓印機的研究與設計.pdf
評論
0/150
提交評論