微細(xì)電火花線切割表面三維形貌及功能評(píng)定研究.pdf

1、隨著微機(jī)械在工程中的廣泛應(yīng)用，國際上許多國家投入大量資金研究微機(jī)械的制造方法——微細(xì)加工技術(shù)。其中微細(xì)電火花線切割加工以其較高的加工效率、較好的加工質(zhì)量、可以加工復(fù)雜三維零件等很多方面其他微細(xì)加工方法無可替代的優(yōu)勢，成為微細(xì)加工領(lǐng)域重點(diǎn)的研究對(duì)象之一。 到目前為止，對(duì)微細(xì)電火花線切割的研究主要集中在微細(xì)電火花線切割機(jī)床的研制和生產(chǎn)應(yīng)用方面，基礎(chǔ)理論的研究還一直滯后，特別是對(duì)微細(xì)電火花線切割表面形貌的認(rèn)識(shí)在理論與實(shí)際之間存在著偏差

2、，其表面微觀形貌與傳統(tǒng)加工及電火花成形加工的表面都不同。傳統(tǒng)的測量方式和測量理論已不適合微細(xì)電火花線切割表面，這嚴(yán)重制約了微細(xì)電火花線切割的進(jìn)一步發(fā)展。 本文采用均勻設(shè)計(jì)試驗(yàn)方法加工微細(xì)電火花線切割試件，在不影響工藝規(guī)律的條件下既減少了試驗(yàn)次數(shù)又保證研究的全面性；通過掃描探針顯微鏡對(duì)所加工的試件進(jìn)行掃描，獲得表面三維形貌數(shù)據(jù)；用小波分析方法對(duì)表面形貌分離重構(gòu)，主要包括降噪、提取基準(zhǔn)面和分離表面形貌特征；針對(duì)微細(xì)電火花線切割表面形