基于全息光子晶體的光濾波器設(shè)計.pdf

1、本課題設(shè)定的目標(biāo)是在硅基底上設(shè)計制作具有大深寬比三角形排列的二維光子晶體孔陣結(jié)構(gòu)作為優(yōu)質(zhì)濾波器來達(dá)到光濾波的目的，這種濾波器的光反射率幾乎達(dá)到100％。這個結(jié)構(gòu)具有特別的光學(xué)特性可以對入射光的反射和透射行為進(jìn)行控制，我們經(jīng)過實(shí)驗(yàn)嘗試得到了制造符合要求的光子晶體尺寸參數(shù)。
　　本文總結(jié)了光子晶體結(jié)構(gòu)參數(shù)對光濾波范圍的影響規(guī)律，仿真得到激光干涉光束各參數(shù)對光子晶體結(jié)構(gòu)的影響規(guī)律，并得到在可見光波段控制濾波的二維三角形光子晶體的尺寸。設(shè)

2、計了三光束干涉光刻光路制造這個結(jié)構(gòu)，并利用雙光束干涉光刻制造線條紋在光刻膠上制作具有功能的線缺陷，之后利用化學(xué)方法刻蝕這個光刻膠以制造大深寬比的光子晶體結(jié)構(gòu)。
　　仿真驗(yàn)證了通過改變干涉光束入射角來改變光子晶體結(jié)構(gòu)填充率的方法。并嘗試?yán)秒p光束干涉在光子晶體中引入線缺陷。在實(shí)驗(yàn)中得到三角形光子晶體的晶格常數(shù)為1.07μm，介質(zhì)柱半徑為388nm，背景為空氣，介質(zhì)柱為硅柱，入射光為420nm波長的激光光束，根據(jù)仿真證實(shí)三光束干涉光刻