2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、微電子機械系統(tǒng)(MEMS)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉融合并具有戰(zhàn)略意義的前沿研究領(lǐng)域,是未來的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)之一。而在諧振器方面,圓盤式MEMS諧振器由于工作頻率高、品質(zhì)因數(shù)大、能夠同射頻通信系統(tǒng)單片集成等優(yōu)點,得到了越來越多的研究,但是圓盤MEMS諧振器尚存在需解決的問題。為此,本論文研究的內(nèi)容包括:
  第一,工藝誤差導(dǎo)致的Wine-Glass模式圓盤諧振器支撐損耗問題。研究工藝誤差導(dǎo)致支撐梁位置變化而帶來的諧振器性能

2、變化問題,推導(dǎo)出了支撐梁伸張振動引起的能耗計算公式,據(jù)此研究了諧振器的品質(zhì)因數(shù)變化特性,結(jié)果表明當(dāng)存在工藝誤差時,新引入的梁伸張振動模式減小了圓盤的振幅,其影響程度要大于彎曲模態(tài)對諧振器的性能的影響。當(dāng)支撐梁發(fā)生4°偏移時,諧振頻率上偏0.07%,圓盤振幅降低13.7%。而當(dāng)梁偏移達(dá)到16°時,諧振頻率上偏0.96%,圓盤振幅降低69.8%。其品質(zhì)因數(shù)也會逐漸降低,若梁偏移至16°,品質(zhì)因數(shù)Q下降了27.11%。
  第二,機械陣

3、列耦合圓盤諧振器的耦合梁尺寸偏差所引起的諧振器性能變化問題。論文就耦合梁由于工藝偏差所導(dǎo)致的質(zhì)心偏移問題作出了詳細(xì)的理論研究分析。論文推導(dǎo)出了梯形耦合梁等效電路模型,并結(jié)合已有的Radial-Contour振動模式圓盤諧振器的等效電路模型設(shè)計出了一個耦合梁質(zhì)心偏移程度可以控制的雙圓盤耦合諧振器電路模型。并通過ANSYS及Pspice軟件分別對其機械模型與電路模型進(jìn)行仿真。分析結(jié)果表明:當(dāng)耦合梁質(zhì)心分別發(fā)生6‰,12‰,18‰偏移時,諧振

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