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1、壓電微電機(jī)是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng),將材料的微觀變形通過共振放大和摩擦耦合轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)子或滑塊的宏觀運(yùn)動(dòng)的一種微電機(jī).它能作為直接驅(qū)動(dòng)微型機(jī)械的電機(jī),來簡(jiǎn)化系統(tǒng)傳動(dòng)鏈和縮小尺寸.壓電微電機(jī)潛在的應(yīng)用前景是非常吸引人的.本文從壓電微電機(jī)的國內(nèi)外發(fā)展概況,到壓電薄膜材料的特性和應(yīng)用,一步一步展開,最后進(jìn)行微電機(jī)的有限元模擬.具體通過選取微電機(jī)中較典型的柱狀薄膜壓電微電機(jī)來深入探討.柱狀薄膜壓電微電機(jī)是基于動(dòng)力學(xué)特性設(shè)計(jì)出來的.文章從柱狀微電機(jī)
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