基于BST變?nèi)莨艿碾娬{(diào)帶通濾波器的研制.pdf

1、隨著多模式、多頻段通信技術(shù)的發(fā)展，可調(diào)帶通濾波器以其響應(yīng)速度快、體積小、工作電壓低等特點(diǎn),越來越受到人們的關(guān)注。利用鈦酸鍶鋇（BaxSr1-xTiO3）薄膜優(yōu)良的介電非線性特性可以進(jìn)行電調(diào)微波器件的研制。
　　本文利用了鈦酸鍶鋇薄膜的介電非線性，在研制BST鐵電電容器的基礎(chǔ)上，分別進(jìn)行了梳狀線電調(diào)帶通濾波器和單片集成開環(huán)耦合帶通濾波器的設(shè)計(jì)、仿真、制作和測(cè)試，本文的主要內(nèi)容為：
　　(1)采用已經(jīng)優(yōu)化了BST薄膜制備工藝，制

2、備出了可調(diào)約為55％（40V），介電損耗約為0.08%的BST薄膜。
　　(2)采用BST鐵電電容作為調(diào)諧元件，在聚四氟乙烯(FR-4)基片(相對(duì)介電常數(shù)為2.65，厚度為0.5mm)上研制了梳狀線電調(diào)帶通濾波器。測(cè)試表明：隨著偏壓從0V增加到35V，回波損耗都在13dB以上，端口達(dá)到很好的匹配；電調(diào)帶通濾波器的中心頻率f o從2.10GHz移動(dòng)到2.39 GHz，調(diào)諧帶寬約為280MHz，調(diào)諧率為15%左右；帶內(nèi)插入損耗從11d

3、B降到7.3dB,1dB帶寬從270 MHz減小到210 MHz；同時(shí)在通帶內(nèi)有良好的群時(shí)延。
　　(3)基于BST變?nèi)莨苷{(diào)諧技術(shù)，采用微細(xì)加工工藝在Al2O3基片上研制了單片集成開環(huán)耦合帶通濾波器，測(cè)試結(jié)果表明：未加偏壓時(shí)，電調(diào)帶通濾波器的中心頻率為1.55 GHz，1dB帶寬為200MHz，回波損耗在12dB左右，帶內(nèi)插損約為9.1dB。隨著偏壓從0V增加到50V，回波損耗都在13dB以上，端口達(dá)到很好的匹配。開環(huán)耦合電調(diào)帶通