虛擬樣機技術在磁懸浮精密定位平臺中的機電一體化研究.pdf

1、本文綜述了微電子制造設備發(fā)展趨勢及其精密工作臺如光刻機工作臺的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀及磁懸浮技術研究進展，概述了磁懸浮技術及直線電機驅(qū)動的工作原理，介紹了虛擬樣機技術，詳細研究了了虛擬樣機的方法，闡明了應用虛擬樣機技術研制磁懸浮精密定位工作臺的現(xiàn)實意義。 將磁懸浮技術和直線驅(qū)動技術相結合，采用虛擬樣機技術手段設計研究了一種新型磁懸浮精密定位工作臺，它是針對微電子行業(yè)IC芯片制造設備如光刻機而研制的快速步進、精密定位機構，是創(chuàng)新性研究。利

2、用磁懸浮技術將工作臺懸浮在倒F導軌上，消除了導軌的摩擦和磨損；直線電機無接觸驅(qū)動實現(xiàn)了工作臺的精密定位。運用虛擬樣機技術，采用CAD/CAE/CAM集成軟件Ugnx2.0對磁懸浮定位工件臺進行三維概念設計，機構運動分析和干涉檢查，結構布局合理。 應用ADAMS/Controls模塊與MATLAB聯(lián)合仿真技術對磁懸浮精密定位平臺原理樣機機械系統(tǒng)與控制系統(tǒng)采取了聯(lián)合設計、調(diào)試，并進行了機電一體化仿真，最終確定了最優(yōu)的方案。