可靠性技術(shù)在激光硅片切割機(jī)中的應(yīng)用研究.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，可靠性工程技術(shù)已成為一門獨(dú)立的邊緣性學(xué)科，在工程實(shí)踐中受到重視并被廣泛應(yīng)用。由于產(chǎn)品不可靠造成的巨大損失使人們清醒地認(rèn)識(shí)到，可靠性不僅影響產(chǎn)品的質(zhì)量，更是關(guān)系國計(jì)民生和國家快速發(fā)展躋身發(fā)達(dá)國家行列的關(guān)鍵因素。為此，本文通過收集分析激光硅片切割機(jī)的可靠性數(shù)據(jù)，采用FMEA和FTA方法對(duì)其可靠性進(jìn)行了研究。 論文從闡述可靠性分析在新產(chǎn)品研發(fā)中的重要性入手，比較不同可靠性評(píng)估常用的方法，提出了采用FMEA和FT

2、A分析激光硅片切割機(jī)的可靠性。根據(jù)“激光硅片切割機(jī)”的結(jié)構(gòu)和工作原理，找出激光硅片切割機(jī)在工作過程中可能出現(xiàn)的潛在故障以及產(chǎn)生故障的原因，結(jié)合市場(chǎng)和用戶的需求情況，對(duì)激光硅片切割機(jī)進(jìn)行可靠性需求分析。應(yīng)用FMEA方法在激光硅片切割機(jī)設(shè)計(jì)階段對(duì)切割機(jī)的故障模式進(jìn)行預(yù)測(cè)，分析了激光硅片切割機(jī)的失效機(jī)理，以減小設(shè)備發(fā)生故障的可能性。建立了激光硅片切割機(jī)的故障樹，同時(shí)進(jìn)行模塊化。采用容斥定理計(jì)算故障概率，解決了激光硅片切割機(jī)的FTA不交化問題。