InP-InGaAs單行載流子光電二極管的研究.pdf

1、InP/InGaAs單行載流子光電二極管(UTC-PD)是一種高速、高飽和輸出的新型光電探測器,其結構特點是由p型中性光吸收層和n型寬帶隙集結層構成,并且只用電子作為有源載流子。UTC-PD和光放大器組成的光接收機,其性能優(yōu)于傳統(tǒng)的光電二極管和后置電放大器組成的光接收機,從而可以省去電放大器,擴展了帶寬的同時還簡化了接收機的結構。在現有的實驗條件下,我們在國內首次提出了UTC-PD的研究課題。在這一年多的時間中,我們主要圍繞著UTC-P

2、D的研究展開了以下三方面工作:1.在了解國外UTC-PD發(fā)展動態(tài)和理論分析的基礎上,設計了器件結構。其設計內容主要包括外延材料的選擇與生長、外延層結構的設計、光耦合的設計及器件的封裝。2.通過大量的實驗研究,確定了研制UTC-PD的工藝流程,并對影響器件性能的關鍵工藝進行詳細地研究。比如,光刻工藝、選擇性濕化學臺面腐蝕工藝、SiO2/SiNx鈍化工藝等。3.對研制的UTC-PD樣品的主要性能參數進行測試。在4V反向偏壓下,實驗測得暗電流