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文檔簡介
1、熱壓超聲焊接是半導(dǎo)體封裝行業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)，一個焊點的焊接通常在20毫秒左右完成，并且要求焊點具有較高的一致性。傳統(tǒng)超聲焊接設(shè)備只有單一的頻率跟蹤功能，超聲振動幅度不穩(wěn)定、響應(yīng)時間長，無法滿足半導(dǎo)體封裝行業(yè)對超聲振幅越來越高的要求。
本文從壓電式超聲換能器（以下簡稱換能器）的等效電路模型出發(fā)，論證了當(dāng)換能器工作在機(jī)械諧振頻率時，換能器的振幅與驅(qū)動電流有效值成正比，比例系數(shù)與匹配電感的匹配程度有關(guān)，匹配程度越高，單位電流產(chǎn)生的振幅越
2、大。據(jù)此，本文提出一種獲得最優(yōu)匹配電感的實驗方法，實驗結(jié)果驗證了理論分析的正確性。另外，本文還通過對變壓器等效電路的理論分析給出變壓器原副邊線圈等效電感的計算公式。這些工作為精確阻抗匹配提供理論和實踐依據(jù)。
由于換能器振幅與驅(qū)動電流的正比關(guān)系，為提高振幅穩(wěn)定性和縮短振幅響應(yīng)時間，本文在傳統(tǒng)超聲發(fā)生器頻率閉環(huán)的基礎(chǔ)上增加了電流閉環(huán)，并解決了頻率閉環(huán)控制和電流閉環(huán)控制之間相互耦合的問題，改進(jìn)的頻率跟蹤算法也杜絕了頻率死鎖現(xiàn)象的發(fā)生
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