2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文等離子體損傷測(cè)試方法研究姓名：徐政申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：軟件工程（IC）指導(dǎo)教師：李冰孫鋒20090413AbstractAbstractAninnovativetestmethodhasbeendevelopedforeValuatingplasmadamages，itsolvedtheproblemthatnormalprocesscontrolmonitorstructure(PCM)callnotbeuse

2、dtomonitorplasmaprocessinduceddamage(P2ID)Whencurrentflowsthroughtheoxide，defectsandtrapswouldbeproducedintheoxideThiswouldleadteductionofthetunnelcurrentSo，plasmadamagesCallbeeValuatedbytestingthetunnelcurrentTestresult

3、sareexpressedinabubblemap，wherethetunnelcurrentindicatedbythebubbleareaAndbiggerareameanshighertunnelcurrentandlowerplasmadamagesTeststructureismadeupofMOScapacitorwithantennaAntennaareaare10’um2and104um2，oxidethicknessi

4、ncapacitoris9nm，topplateofcapacitorismadeupofheavilyNdopedpolysiliconanddownplateismadeupofheavilyNdopedsinglesiliconTestcondition：downplatevoltageis0，topplatevoltageis12VrecordthetopplatecurrentTestresultsshowsthattunne

5、lcurrentcanbefoundreducedinallplasmaprocesswhenantennaratiomorethan103MoredamageisfoundincentreofwaferandthesamemapisfoundinproductwaferReasonofplasmadamageinproductwaferisprovedbymetaletchthroughfurtheranalysisTeststruc

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