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文檔簡介
1、白光器件在照明及全彩顯示等領(lǐng)域有巨大的應(yīng)用價(jià)值,引起了人們的廣泛關(guān)注。本課題根據(jù)多孔硅(PorousSi,PS)和ZnO光致發(fā)光譜的特征,擬采用多層膜發(fā)光的形式實(shí)現(xiàn)白光發(fā)射。在多孔硅上沉積ZnO薄膜,詳細(xì)研究了ZnO/PS復(fù)合體系的結(jié)構(gòu)形貌及光學(xué)和電學(xué)性質(zhì)。 采用陽極氧化方法,通過調(diào)節(jié)氧化電流密度和腐蝕時(shí)間,制備出不同孔隙率的多孔硅襯底,然后用脈沖激光沉積的方法生長ZnO薄膜。X射線衍射儀(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)測量
2、表明,在孔隙率較大的多孔硅上生長的ZnO薄膜為非晶結(jié)構(gòu),并且ZnO薄膜的表面有許多裂縫和空洞。從樣品的截面SEM圖看到,ZnO可以進(jìn)入多孔硅孔中,這些ZnO的“釘子”增強(qiáng)了ZnO和襯底間的附著性。 多孔硅的制備電流密度、ZnO薄膜的生長溫度和激發(fā)波長都會(huì)影響ZnO/PS復(fù)合體系的光致發(fā)光譜。多孔硅粗糙的表面結(jié)構(gòu)雖然不利于高質(zhì)量的ZnO薄膜的生長,卻能增強(qiáng)ZnO薄膜的深能級(jí)發(fā)光,復(fù)合體系在適當(dāng)波長的光激發(fā)下,呈現(xiàn)白光發(fā)射。
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