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文檔簡介
1、隨著微機械、微加工技術(shù)的飛躍發(fā)展，高頻、微振動的測量在生產(chǎn)和科研中越來越受到重視。光學(xué)檢測方法作為一種重要的非接觸式無損檢測技術(shù)，以其具有結(jié)構(gòu)簡單、精度高和穩(wěn)定性好的特點，被廣泛的應(yīng)用。其中，基于光折變晶體的非線性干涉測量技術(shù)是一種新型的光學(xué)檢測方法，本文即利用光折變晶體材料的特性，來實現(xiàn)寬帶、微小振動的測量。測量系統(tǒng)采用零差干涉結(jié)構(gòu)，用硅酸鉍晶體Bi12SiO20(BSO)記錄信號光與參考光干涉所形成的動態(tài)全息光柵，并實時衍射，再由光
2、電探測器探測從BSO晶體透射的信號光與參考光的衍射光所形成的干涉信號，從而實現(xiàn)對振動的測量。
本文重點研究了在BSO晶體中記錄全息光柵的條件，包括兩光束夾角、光強比，與衍射效率關(guān)系的研究，確定了最佳記錄條件，同時分析了影響衍射效率的其他因素。在參考光路中利用1/4波片和偏振片來改變光束偏振態(tài)，采用反射式光路增強信號光和參考光在BOS晶體中的二波耦合效率，使干涉系統(tǒng)在晶體不加外電場情況下，具有較高測量靈敏度。以一定頻率驅(qū)動的壓電
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