高精度平面反射鏡的制作方法研究.pdf_第1頁(yè)
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1、在反射鏡家族中,平面反射鏡屬于結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單的光學(xué)元件,但其應(yīng)用卻非常地廣泛,在平面反射鏡的諸多參數(shù)中,本論文主要對(duì)其面形指標(biāo)的檢測(cè),拋光面形的控制以及鍍膜前后面形的變化影響展開(kāi)研究。
　　首先,在反射鏡面形的檢測(cè)方面,目前國(guó)內(nèi)外廠(chǎng)商首選的檢測(cè)儀器是Zygo激光干涉儀,本論文主要對(duì)傳統(tǒng)檢測(cè)手段既樣板檢測(cè)與Zygo干涉儀檢測(cè)的相關(guān)性展開(kāi)分析,重點(diǎn)研究了POWER、PV、SAG、IRR與N、△N的關(guān)系。
　　其次,在平面反射鏡的拋

2、光工藝選擇方面,考慮到工藝成熟性、穩(wěn)定性與成本的因素,重點(diǎn)研究了古典拋光手法在反射鏡拋光中的應(yīng)用,這里面主要分壓制拋光磨具、選擇拋光劑、拋光及清洗、脫模等步驟展開(kāi)討論,并針對(duì)各種拋光面形的情況下不同修刮模手法進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明。
　　最后,對(duì)鍍膜前后反射鏡面形的變化進(jìn)行了研究,影響鍍膜前后面形變化的因素很多,本文主要從以下4個(gè)方面進(jìn)行探討:
　　1)薄膜殘余應(yīng)力使反射鏡的基底面形發(fā)生變化,提出了利用不同的基片面形與不同的鍍膜機(jī)臺(tái)

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