通信領(lǐng)域的微機(jī)械諧振器和濾波器研究.pdf

1、該論文的主要工作是針對(duì)目前微機(jī)械諧振器所涉及的三個(gè)問(wèn)題進(jìn)行了一定的研究,并對(duì)梳狀諧振器能量轉(zhuǎn)移的線性問(wèn)題進(jìn)行了討論.第一個(gè)問(wèn)題是諧振器具有的高品質(zhì)因子是在真空腔體測(cè)量的結(jié)果是盡可能降低空氣阻尼影響的試驗(yàn)結(jié)果,因?yàn)榭諝庾枘嵩谒杏绊懸蛩刂行Ч蠲黠@,其是否存在導(dǎo)致Q值有10<'4>的變化幅度.該論文的第二個(gè)工作是提出了電容耦合微機(jī)械諧振器的原理.第三個(gè)問(wèn)題是關(guān)于提高微機(jī)械諧振器頻率的問(wèn)題.就目前的通信技術(shù)發(fā)展而言,單片系統(tǒng)已明顯地成為PC

2、S系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展方向.IC制作技術(shù)使電路的功能越來(lái)越強(qiáng)大,體積越來(lái)越小,功耗越來(lái)越低,甚至為了提高其性能,許多功能都可以通過(guò)軟件來(lái)實(shí)現(xiàn).IC技術(shù)的進(jìn)步凸現(xiàn)出PCS系統(tǒng)中無(wú)源器件的不足.微細(xì)加工技術(shù)制作無(wú)源器件必然會(huì)成為發(fā)展潮流,因?yàn)樗鉀Q了無(wú)源器件和IC單片集成的問(wèn)題,使得單片系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)指日可待.在低于吉赫茲的頻率段,利用機(jī)械結(jié)構(gòu)振動(dòng)的微機(jī)械諧振器因?yàn)榫哂蟹€(wěn)定性好,功耗小,制作工藝簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),是相當(dāng)受重視的一個(gè)研究方向.頻率的進(jìn)一步提高必