輻射場型壓電薄膜驅(qū)動器的優(yōu)化設(shè)計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、壓電微位移驅(qū)動器在精確定位與微控制等方面有廣泛的應(yīng)用前景。與其它驅(qū)動器向比，它具有體積小、分辨率高、響應(yīng)速度快、可控精度高、散熱小、低能耗、無電磁干擾等優(yōu)點。由于以上優(yōu)點，壓電微位移驅(qū)動器得到了國內(nèi)外的廣泛重視。輻射電場型壓電薄膜RFD(Radial field diaphragm)作為一種新型的壓電微位移驅(qū)動器，有很大的研究價值。
　　 本文采用有限元分析與實驗測試相結(jié)合的方法，對RFD的結(jié)構(gòu)參數(shù)進行優(yōu)化。主要研究內(nèi)容包括以

2、下幾個方面：
　　 (1)對壓電晶體的力學(xué)、電學(xué)性能進行了討論和研究了。從壓電效應(yīng)出發(fā)，對壓電驅(qū)動的原理進行了闡述；
　　 (2)利用有限元理論，考慮壓電材料的壓電效應(yīng)，對壓電元件的機電耦合有限元方程經(jīng)行詳細的推導(dǎo)；
　　 (3)利用Ansys11.0有限元軟件，對RFD結(jié)構(gòu)進行仿真分析，考察RFD結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響因素，給出優(yōu)化參數(shù)；
　　 (4)制作不同結(jié)構(gòu)參數(shù)的RFD并且進行實驗測試，得到RFD壓電驅(qū)動

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