超聲噴霧法制備大面積二氧化錫絨面導(dǎo)電膜及性能研究.pdf

1、能源和環(huán)保是世界的兩大熱點(diǎn)。國(guó)內(nèi)外對(duì)可再生能源，尤其是太陽能利用的需求越來越強(qiáng)烈。隨著科技的飛速發(fā)展，透明導(dǎo)電膜廣泛應(yīng)用于各種光電器件和設(shè)備，如太陽能電池，液晶顯示和電鍍器件等。本課題來自于2007年天津市科技發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目《超聲噴霧法制備大面積絨面SnO2：F薄膜的產(chǎn)業(yè)化研究》。
　　 在各種透明導(dǎo)電膜中，SnO2的應(yīng)用尤為引人關(guān)注。摻雜后的SnO2具有高導(dǎo)電率、高透射率，較好的化學(xué)和熱穩(wěn)定性等特點(diǎn)。超聲噴霧熱分解工藝具有低成本

2、、高質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn)，此方法無需真空，設(shè)備和工藝相當(dāng)簡(jiǎn)單，容易實(shí)現(xiàn)可控?fù)诫s和大面積生長(zhǎng)，能夠制備出質(zhì)量較高的薄膜。
　　 本論文對(duì)基于超聲噴霧熱分解工藝的大面積SnO2薄膜的制備技術(shù)進(jìn)行了深入的研究，設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了基于超聲噴霧熱分解工藝的面積達(dá)400mm×400mm的鍍膜設(shè)備，從理論和實(shí)驗(yàn)兩方面探討和解釋了影響薄膜成膜效果的成膜溫度、沉積時(shí)間、F摻雜濃度、酒精含量等各種因素對(duì)薄膜性質(zhì)的影響，并在國(guó)內(nèi)首次重點(diǎn)對(duì)影響薄膜絨度的F摻雜濃度、加