半環(huán)形腔主振光放大器技術(shù)研究.pdf

1、在光電子通訊領(lǐng)域，圍繞大功率、近衍射極限半導(dǎo)體激光光源，研究人員設(shè)計并制作了多種激光器結(jié)構(gòu)。主振功率光放大器(MOPA)，由于其高質(zhì)量的光束輸出，成為研究人員優(yōu)先考慮的一種典型器件結(jié)構(gòu)。本文針對直腔脊形波導(dǎo)、分布反饋或分布布拉格反饋作為主振半導(dǎo)體激光器與錐形放大器單片集成的主振光放大器的缺點，提出制作出結(jié)構(gòu)簡單，制作工藝難度低的半環(huán)形半導(dǎo)體激光器與錐形放大器集成的主振功率光放大器．有利于避免主振半導(dǎo)體激光器對光放大器的影響，同時保證激光

2、的輸出模式質(zhì)量、穩(wěn)定性、可靠性。 本文從泊松方程、載流子連續(xù)性方程、薛定諤方程及亥姆霍茲方程出發(fā)，通過數(shù)值求解得出激光器的閾值電流。簡單分析了曲率半徑對閾值電流密度的影響。為了實現(xiàn)較低的閾值電流，要求半環(huán)形腔的曲率半徑選擇在15μm左右。同時通過對彎曲波導(dǎo)方程的求解，簡單分析了曲率半徑對基側(cè)模光場分布的影響。最后，針對傳統(tǒng)濕法腐蝕存在的一些不足，本文提出采用光輔助刻蝕方法來實現(xiàn)脊形條的垂直刻蝕。用UV-LED作為光源并通過改變電