應用微波光電導衰減法測量硅晶體少子壽命的研究.pdf

1、近年來，隨著光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，人們在不斷探索光電轉換效率更高、使用壽命更長的太陽能電池。少數(shù)載流子壽命（簡稱少子壽命）是半導體材料的一個重要參數(shù)，通過對少子壽命的檢測可以反映出半導體器件性能和太陽能電池的轉換效率。因此對少子壽命檢測儀器的開發(fā)，將推動光伏產(chǎn)業(yè)更快更好的發(fā)展。但國內(nèi)對少子壽命測量的研究起步比較晚，測量方法比較落后，而且測量精度也很難保證。國外雖然有比較成熟的儀器，但價格都非常昂貴。為此，在查閱相關資料，了解國內(nèi)外少子壽命

2、測量，尤其是微波反射光電導衰減法測量的現(xiàn)狀和發(fā)展的基礎上，確定了課題的研究方向。
　　 本文論述了基于微波反射光電導衰減法的少子壽命測量系統(tǒng)的研究，給出了總體設計方案，并對微波反射光電導衰減法的測量原理、測量系統(tǒng)的硬件組成、微弱信號處理、噪聲抑制和抗干擾措施、數(shù)據(jù)處理等分別作了介紹。其中，硬件系統(tǒng)主要包括微波檢測系統(tǒng)、激光激勵系統(tǒng)、信號調(diào)理系統(tǒng)，文中對各個系統(tǒng)的器件做了具體介紹。另外，在微弱信號處理方面給出了幾種與本課題相關的檢