光機(jī)電（磁）新原理位移傳感器研究.pdf

1、位移是工業(yè)生產(chǎn)中需要經(jīng)常檢測(cè)的一個(gè)基本物理量,尋求簡(jiǎn)單實(shí)用、操作方便、適應(yīng)范圍廣、經(jīng)濟(jì)性好的位移傳感器對(duì)促進(jìn)工業(yè)生產(chǎn)發(fā)展具有重要現(xiàn)實(shí)意義.本論文著重研究基于偏振光檢測(cè)原理、具有超大量程(量程10~30m,精度1~3‰)的直線位移測(cè)量新方法;研究偏振光位移傳感器的兩種實(shí)現(xiàn)方案,結(jié)合方案比較,提出本論文的總結(jié)展望.相應(yīng)的論文分為三個(gè)部分:緒論介紹了大位移檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展、研究現(xiàn)狀,以及需要解決的問題.第一部分(第2章),從偏振光學(xué)原理入手,針

2、對(duì)光的偏振現(xiàn)象及線偏振光的馬呂斯定理,研究應(yīng)用偏振光的新原理位移測(cè)量方法,從理論上分析了馬呂斯定理和法拉第旋光效應(yīng)現(xiàn)象,奠定了偏振光位移傳感器的理論基礎(chǔ).第二部分(第3章、第4章):研究偏振光大位移傳感器的兩種實(shí)現(xiàn)方案:即位移—電流比較儀方案和伺服比較式位移傳感器方案.第3章研究位移—電流比較儀,它是利用同光源雙光路差動(dòng)比較原理,提出光機(jī)電(磁)位移—電流比較檢測(cè)方法,建立被測(cè)位移與線圈電流的線性關(guān)系,從而通過線圈電流值獲取被測(cè)位移信息

3、,進(jìn)而設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室樣機(jī),研究樣機(jī)的小型化、集成化工作.第4章研究伺服比較式位移傳感器,同樣利用雙光路差動(dòng)比較解決光源光強(qiáng)漂移.采用伺服電機(jī)跟蹤輸入位移,研究系統(tǒng)的關(guān)鍵傳感部分的設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室樣機(jī).從原理、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)及調(diào)試入手,對(duì)伺服比較檢測(cè)方案進(jìn)行了綜合評(píng)價(jià),獲得了有較高的可靠性,符合初步產(chǎn)業(yè)化要求的大量程位移傳感器樣品,通過了浙江省機(jī)械工業(yè)儀表電器產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢測(cè)站的企業(yè)產(chǎn)品性能檢測(cè).第三部分(第5章、第6章):研究上述兩個(gè)傳