晶體硅太陽(yáng)電池表面鈍化研究.pdf

1、利用光伏電池發(fā)電是解決能源問(wèn)題和環(huán)境問(wèn)題的重要途徑之一。目前，80％以上的太陽(yáng)電池是由晶體硅材料制備而成的，制備高效率低成本的晶體硅太陽(yáng)能電池對(duì)于大規(guī)模利用光伏發(fā)電有著十分重要的意義。其中前表面鈍化及背表面鈍化是制備高效晶體硅太陽(yáng)電池非常重要的工序，表面鈍化的好壞直接決定太陽(yáng)電池少數(shù)載流子壽命的高低，通過(guò)對(duì)少數(shù)載流子壽命的檢測(cè)分析，我們對(duì)晶體硅太陽(yáng)電池表面鈍化技術(shù)進(jìn)行了系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)研究。 本文在綜述當(dāng)前實(shí)驗(yàn)室高效太陽(yáng)電池鈍化技術(shù)的

2、基礎(chǔ)上，在第三章中針對(duì)重?fù)诫s表面鈍化，研究了熱氧化鈍化的各種條件(包括氧化溫度、氧化時(shí)間)對(duì)太陽(yáng)電池前表面鈍化效果的影響。通過(guò)檢測(cè)少數(shù)載流子壽命以及對(duì)電性能參數(shù)中開(kāi)路電壓的分析，在篩選了眾多實(shí)驗(yàn)結(jié)果后，發(fā)現(xiàn)在840℃左右的氧化溫度以及 10 分鐘左右的氧化時(shí)間下便可保證較好的表面鈍化效果。在這種條件下進(jìn)行工藝生產(chǎn)，既可使硅片在氧化過(guò)程中受高溫影響降到較低的程度，也可保證較好的減反射效果及鈍化效果。 在第四章中，本文針對(duì)太陽(yáng)電池背

3、面氮化硅膜鈍化，同樣通過(guò)檢測(cè)少數(shù)載流子壽命，研究了氮化硅膜的普通熱退火特性及快速熱退火特性，并且對(duì)背面氮化硅膜鈍化電池進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。通過(guò)普通熱退火特性實(shí)驗(yàn)研究，發(fā)現(xiàn)氮化硅膜比較適合于在500℃以內(nèi)的溫度下進(jìn)行退火，而SiN/ SiO<,2> 雙層膜由于穩(wěn)定性優(yōu)于SiN膜，所以比較適合于在600℃-700℃之間的溫度下進(jìn)行退火。在經(jīng)過(guò)800℃以上高溫退火后，發(fā)現(xiàn)SiN膜及SiN/SiO<,2>雙層膜都基本失去了表面鈍化效果。通過(guò)快速熱退