反射式金屬光柵盤研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、反射式金屬光柵是指在金屬基板上制作出的高反射率線條（作為光柵亮條紋）和低反射率線條（作為光柵暗條紋），金屬基板相對于玻璃基板來說存在許多優(yōu)點，如：金屬抗沖擊能力強、抗輻射能力強；但同時也存在一些缺點，如：金屬基板加工困難、金屬光柵膜系較復雜、金屬光柵復制較困難等。
　　本文對反射式金屬光柵工藝流程進行了較深入的研究，并從關鍵單元工藝技術研究著手進行了反射式金屬光柵工藝參數探索試驗，得出了一整套復制反射式金屬光柵盤的工藝參數，根據這

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