硅基二維光子晶體光電化學(xué)制備技術(shù)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、光子晶體是一種介電常數(shù)成周期分布的介質(zhì)材料，周期為光波長量級。在光子晶體材料中存在著特殊的頻帶，在這些頻帶中光波被禁止傳播。由于此種特點(diǎn)，光子晶體可以用來制造全新原理的、高性能的光學(xué)器件，具有廣闊的應(yīng)用前景。 本論文首先介紹了光子晶體概念和應(yīng)用的領(lǐng)域，并對其基本原理和理論進(jìn)行了相關(guān)闡述。在掌握理論基礎(chǔ)上設(shè)計了一套工藝流程，以n型硅為基體，經(jīng)過氧化、光刻、各向異性腐蝕、光電化學(xué)刻蝕等步驟，最后得到二維光子晶體結(jié)構(gòu)，并且自行設(shè)計了電

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