曲面基底衍射光學(xué)元件加工工藝研究.pdf

1、本文根據(jù)衍射元件在光學(xué)系統(tǒng)中的特殊應(yīng)用，利用本實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)條件，進(jìn)行了平凸型折衍混合透鏡的制作研究。在制作過程中分析和研究了幾何成像和利用衍射進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的兩類方法。最后采用幾何成像的方法，實(shí)現(xiàn)了偏心誤差小于10um的對(duì)準(zhǔn)，完成了16臺(tái)階的平凸型衍射器件的加工工作。本文同時(shí)分析了衍射器件軸外點(diǎn)成像時(shí)候衍射效率隨著入射角變化的變化情況。分析的過程中我們采用了相對(duì)簡(jiǎn)單的標(biāo)量衍射的方法，得出了如何改進(jìn)衍射效率的方法。 第一部分文章主要是通

2、過總結(jié)衍射光學(xué)器件制作工藝的發(fā)展，得出了衍射器件的發(fā)展的方向。我們發(fā)現(xiàn)衍射器件向亞微米發(fā)展是一種必然的趨勢(shì)，而發(fā)展的進(jìn)程很大程度上取決于光機(jī)電的聯(lián)合發(fā)展?fàn)顩r。 第二部分文章在介紹菲涅耳透鏡設(shè)計(jì)原理和衍射效率計(jì)算的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)分析了存在各種加工誤差時(shí)候的衍射效率的計(jì)算情況。通過模擬分析得出了存在刻蝕深度誤差、對(duì)準(zhǔn)誤差以及工作波長(zhǎng)誤差的時(shí)候衍射效率的變化情況和相關(guān)的計(jì)算方法。同時(shí)，文章采用了標(biāo)量衍射方法，通過兩種不同的途徑，計(jì)算了衍