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1、該文主要介紹了一種新型的聲表面波氣體傳感器.該傳感器具有靈敏度高、集成度高、一致性和重復(fù)性好等特點,可用于多種領(lǐng)域.根據(jù)聲表面波延遲線的質(zhì)量沉積效應(yīng),我們優(yōu)化設(shè)計出一種中心頻率為51.9MHz,帶寬為2.1MHz,高的Q值(24.36),低的插入損耗(-7.68dB)的聲表面波傳感器.并將其應(yīng)用于呼吸氣體的檢測.根據(jù)肺癌病人呼出的22種VOCs特征氣體,我們研究和篩選出4種敏感性膜檢測呼吸氣體中的有機成分.同時也摸索出一套較好的成膜厚度
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