高隔離度射頻微機電開關的研究.pdf

1、微機電系統(tǒng)(MEMS)是國際上近二十年來新興的一項熱門技術。射頻微機械系統(tǒng)(RF MEMS)是目前MEMS期間研究的一個熱點，并將對射頻/微波技術產(chǎn)生重大的影響。一方面，從制作技術上說，可集成化是RF MEMS技術發(fā)展的最初動力；另一方面，隨著信息社會的進步，現(xiàn)代和將來的射頻/微波系統(tǒng)，對小型化、多功能化、低功耗和低成本化方面的要求不斷提高。而RF MEMS器件的高度集成化、微型化和智能化，能成倍地提高射頻/微波器件和系統(tǒng)的功能密度、信

2、息密度和互連密度，并大幅度降低了器件和系統(tǒng)的功耗，恰好滿足現(xiàn)代射頻/微波系統(tǒng)的要求。這構成了RF MEMS技術發(fā)展的根本動力。 射頻(RF)MEMS器件可以認為是用MEMS技術實現(xiàn)的、用于從低頻到紅外線以下頻段信號的產(chǎn)生與處理的微型化可集成器件，這其中就包括了微機電射頻開關。從1971年第一個射頻開關被制作出來至今，射頻開關的研發(fā)已經(jīng)取得了很大的進展。理想的射頻開關應具有高的隔離度和數(shù)百萬次的循環(huán)使用壽命。本課題的任務就是設計并

3、制作一種這樣的開關。 本論文對高隔離射頻開關的結構進行了設計、分析和討論，并詳細論述了制作過程中的工藝步驟。 全文共分為四章： 第一章介紹了開關的參數(shù)、分類、一些典型開關的性能和制作工藝，最后還談到了開關設計中要考慮到的某些問題。 第二章設計了一種新型的懸臂梁結構的高隔離度金屬接觸式開關，并模擬了開關的驅(qū)動電壓和懸臂梁變形之間的關系曲線。分析和比較了懸臂梁結構、橋結構和四邊固支的殼結構開關的固有頻率，及驅(qū)