偏振光位移傳感器及其絕對位移檢測方法研究.pdf

1、位移傳感器在科學(xué)與工業(yè)技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，是重要的測量部件。本文提出了一種基于偏振光檢測的位移測量原理，并基于該原理，完成了機(jī)械、光學(xué)、電路等各部分的設(shè)計(jì)，研制了實(shí)驗(yàn)室樣機(jī)，并進(jìn)行了測試。論文主要包括以下幾個(gè)部分： 第一章緒論介紹了課題的相關(guān)背景，包括常用位移傳感器的簡介，大量程位移傳感器的發(fā)展和應(yīng)用。 第二章分析了基于偏振光的位移測量方法的基本理論。包括光的偏振理論分析，光的偏振態(tài)表示及馬呂斯定理分析，以及電光調(diào)制原理。 第

2、三章詳細(xì)介紹了伺服比較式偏振光位移傳感器。包括伺服比較式位移檢測原理、組成部件的選擇及介紹、傳感器的硬件系統(tǒng)、軟件系統(tǒng)等。 第四章介紹了基于伺服比較方案的絕對位移測量方案?；谒欧容^式位移傳感器的自身的特點(diǎn)，和另外附加的一套用于確定周期位置的裝置，實(shí)現(xiàn)了大量程的絕對位移測量。另外，還介紹了通過位移－時(shí)間轉(zhuǎn)換進(jìn)行位移測量的方法，該方案可實(shí)現(xiàn)全光型位移傳感器，具有極強(qiáng)的抗干擾能力和較高的精讀，具有廣闊的前景。 第五章詳細(xì)敘述了伺服