基于全固態(tài)器件串并聯(lián)技術(shù)的脈沖功率電源.pdf

1、本文介紹了使用固態(tài)串聯(lián)開關(guān)電路具有重大的意義，同時也面臨的巨大的困難，并著重介紹了一種特殊的半導(dǎo)體開關(guān)串聯(lián)電路――固態(tài)Marx調(diào)制器的研制過程和試驗結(jié)果，將其應(yīng)用于等離子源離子浸沒式注入材料改性研究中。對傳統(tǒng)的和新型全固態(tài)器件的Marx發(fā)生器進行了詳細的原理分析，闡述固態(tài)Marx發(fā)生器的特點和優(yōu)勢；本文還對電源各個部分參數(shù)選取進行了詳細計算，選取最為重要的半導(dǎo)體開關(guān)管，此外文中給出電感電容參數(shù)計算的具體方法，還對電感設(shè)計制造的各方面細節(jié)

2、給出詳細要求；通過對IGBT各種驅(qū)動電路進行回顧，根據(jù)固態(tài)Marx調(diào)制器特點自主創(chuàng)新出一種簡單實用的自取電驅(qū)動電路，固態(tài)Marx發(fā)生器電源采用該驅(qū)動電路后簡化了整套系統(tǒng)設(shè)計和成本，但也指出該驅(qū)動電路的局限性；固態(tài)Marx發(fā)生器的充電是由一套12kW的高頻充電電源完成的，論述了該充電電源的控制方案和運行方式；最后給出電源電路系統(tǒng)各個部分的輸入輸出特性，并對系統(tǒng)做出試驗研究和分析，電源還通過等離子體負載試驗進行離子注入的材料改性研究，取得一