PdPc-PANI雜化有機(jī)半導(dǎo)體膜及氣敏機(jī)理的研究.pdf

1、隨著人們對(duì)環(huán)保的日益重視，對(duì)毒氣傳感器的研究有重要意義。目前氣體傳感器主要是采用無機(jī)半導(dǎo)體法，它存在著方法復(fù)雜、成本高、精度低等問題；而有機(jī)半導(dǎo)體由于成本低、制膜工藝簡(jiǎn)單、易與其它技術(shù)兼容、常溫下工作等優(yōu)點(diǎn)，已成為研究的熱點(diǎn)。聚苯胺(PANI)和金屬酞菁是其中的典型代表。 本課題以模板法合成了四取代對(duì)甲苯氧基酞菁鈀(PdPc)，按相關(guān)文獻(xiàn)合成了高氯酸(HCl04)摻雜PANI，并對(duì)兩種材料進(jìn)行了相關(guān)的表征。采用微細(xì)加工技術(shù)及機(jī)械

2、掩膜技術(shù)制作了背面帶有加熱電阻的平板 Pt 電極。將兩種有機(jī)半導(dǎo)體材料以不同的比例混合雜化成(PANI)<,x>(PdPc)<,1-x>(0≤x≤1)，分別以涂膜工藝和蒸發(fā)鍍膜工藝在電極上成膜，制成氣體傳感器，對(duì)濃度為0.01％的NO<,2>、8O<,2>、NO、Cl<,2>進(jìn)行氣敏測(cè)試，尋找氣敏性最好的有機(jī)半導(dǎo)體摻雜材料。測(cè)試表明摻雜比例 x=1/6的復(fù)合膜對(duì)多種氣體均有敏感性，而且靈敏性好。 通過掃描電鏡(SEM)對(duì)涂膜和蒸

3、發(fā)膜進(jìn)行表征，從膜的微觀形貌和分子結(jié)構(gòu)兩方面對(duì)敏感機(jī)理進(jìn)行了分析。涂膜PdPc與PANI膜結(jié)構(gòu)疏松，存在網(wǎng)狀氣孔；蒸發(fā)PdPc膜呈球狀晶粒局部互相嵌入分布，PANI膜呈針狀顆粒均勻分布，都存在氣孔。氣孔的存在有利于氣體的吸附和脫附。涂膜有序性差，膜厚，響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)，但是靈敏度高；蒸發(fā)膜分布均勻，膜薄，靈敏度低，但是響應(yīng)時(shí)間短。此外，還討論了器件結(jié)構(gòu)及檢測(cè)方式等因素對(duì)膜氣敏性能的影響，并對(duì)以后的發(fā)展前景給予了展望。 實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明其原