信號(hào)調(diào)制方法在角度傳感器中的應(yīng)用研究.pdf

1、角度測(cè)量是幾何量計(jì)量技術(shù)的重要組成部分，在現(xiàn)代企業(yè)的質(zhì)量保證體系中具有非常重要的地位。隨著精密加工和超高速加工的發(fā)展，高精度、高分辨率小角度測(cè)量方法的研究成為此領(lǐng)域研究的一項(xiàng)重要內(nèi)容?，F(xiàn)階段小角度測(cè)量的準(zhǔn)確度和精度都達(dá)到了很高的水平，但是，傳統(tǒng)的小角度測(cè)量?jī)x器如激光干涉儀，光電自準(zhǔn)直儀等，由于具有體積大、造價(jià)昂貴、對(duì)測(cè)量環(huán)境要求高、較難組成多維測(cè)角系統(tǒng)等特點(diǎn)而很難應(yīng)用于工業(yè)高精度在線測(cè)量。
　　 為了解決上述問(wèn)題，本課題設(shè)計(jì)并試

2、制了一種基于內(nèi)反射效應(yīng)的二維角度傳感器，采用激光發(fā)射信號(hào)調(diào)制方法，以提高系統(tǒng)的抗干擾能力，實(shí)現(xiàn)二維角度的高精度實(shí)時(shí)測(cè)量，為下一步設(shè)計(jì)組建小型化多自由度位移檢測(cè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)精密加工機(jī)床或坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的運(yùn)動(dòng)姿態(tài)及誤差的測(cè)量奠定基礎(chǔ)。本文的主要工作包括以下幾個(gè)方面：
　　 ⑴論述了本文研究的目的和意義，查閱了大量國(guó)內(nèi)外有關(guān)技術(shù)資料，綜合評(píng)述了微小角度測(cè)量技術(shù)的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。
　　 ⑵從理論上分析了基于光調(diào)制角度傳感器測(cè)角法的原