顯微數(shù)字散斑技術(shù)研究與應(yīng)用.pdf

1、隨著微電子、表面工程、生物和醫(yī)學(xué)材料的高速發(fā)展，應(yīng)用和開發(fā)的結(jié)構(gòu)和器件的特征尺寸越來越小，正確評價和研究這些結(jié)構(gòu)和器件的熱、力學(xué)性能需要借助基本的檢測技術(shù)和檢測平臺，本文將數(shù)字散斑相關(guān)技術(shù)和顯微技術(shù)相結(jié)合，進(jìn)行顯微數(shù)字散斑相關(guān)方法的研究。本文主要內(nèi)容如下： 1、提出雙CCD應(yīng)變測量方法，并建立雙長距CCD應(yīng)變測量系統(tǒng)，使數(shù)字相關(guān)應(yīng)變測量靈敏度由二十微應(yīng)變提高到一微應(yīng)變，為工程材料的力學(xué)性能測試提供了非接觸、大變形、高精度和數(shù)字化

2、的測量新技術(shù)。 2、詳細(xì)討論了數(shù)字散斑相關(guān)測量中噪聲對相關(guān)測量精度的影響，將CCD噪聲分為時間噪聲和空間噪聲，對噪聲規(guī)律進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，并在此基礎(chǔ)上提出時間平均法消除數(shù)字噪聲的方法。 3、用環(huán)形LED冷光源代替?zhèn)鹘y(tǒng)斜入射光源，消除了附加熱變形對顯微數(shù)字相關(guān)測量的影響，大大提高顯微相關(guān)測量精度，并將環(huán)形燈照明與傳統(tǒng)斜入射進(jìn)行比較，分析了環(huán)形燈照明場的光強(qiáng)分布及其對散斑灰度及形貌的影響。 4、設(shè)計(jì)適合顯微成像條件下使用的自