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文檔簡介
1、 本文針對FeSiBNbCu納米晶薄膜的成膜工藝，微結(jié)構(gòu)與磁性間關(guān)系；以及Fe-Ni-Ge三元體系的機械合金化行為，熱處理后的相變特性等問題進行了深入的研究，采用射頻磁控濺射的方法，通過改變成膜工藝參量，在無需后熱處理的條件下，成功地制備了α-Fe(Si)納米晶鑲嵌在非晶背景下的薄膜，發(fā)現(xiàn)高濺射功率是一次性制備納米晶薄膜的有效手段；研究了薄膜中的磁矩取向與薄膜微結(jié)構(gòu)間的關(guān)系。結(jié)果表明，磁矩與膜表面法向間的夾角β隨著微結(jié)構(gòu)的變化而變化。
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