漂移量靶標反饋激光自準直系統(tǒng)關鍵技術.pdf

1、隨著超精密加工、微電子、微光學、微機械集成制造和空間探測等技術的迅速發(fā)展，對超精密工作臺的小角度測量精度和穩(wěn)定性提出了更高的要求。傳統(tǒng)的激光CCD自準直儀只能滿足一般精度的角度測量問題，對于超精密工作臺的小角度測量，則由于激光光束角漂移量的影響，使得測量精度難以提高。因此，開發(fā)和研制一種高精度高穩(wěn)定性的超精密激光自準直測量系統(tǒng)迫在眉睫。
　　課題“漂移量靶標反饋激光自準直系統(tǒng)關鍵技術”，目的就是探討研究一種高穩(wěn)定性的超精密激光自準

2、直小角度測量方法，所涉及到的理論、方法以及若干關鍵技術，具體如下：
　　從漂移量產生的機理入手，分析了各種漂移之間的內在聯系以及對自準直測量的影響。在此基礎上，提出了一種基于閉環(huán)反饋控制思想的激光CCD自準直小角度測量方法。利用分光式靶標探測器實現激光束角漂移量的實時分離，結合閉環(huán)反饋控制技術可實現高穩(wěn)定性高精度小角度測量。
　　對構成系統(tǒng)的自準直光學測量系統(tǒng)、分光式靶標探測器、角漂移量監(jiān)測裝置以及微轉角工作臺閉環(huán)控制系統(tǒng)等

3、組成部分的特性進行了研究。研制了基于四象限光電探測器的光電檢測電路，用于光束角漂移的實時監(jiān)測；設計的柔性鉸鏈微轉角工作臺，實現了壓電陶瓷驅動器線位移向柔性鉸鏈角位移的轉換；通過完成系統(tǒng)辨識及參數整定獲取增量式PID控制算法的控制參數，并且在VisualC++環(huán)境下完成包括光電信號采集及處理程序、壓電陶瓷驅動程序、PID控制算法子程序等的系統(tǒng)軟件開發(fā)。
　　論文最后，對系統(tǒng)的各個主要組成部分進行了性能測試和實驗研究，測試和分析了壓電