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文檔簡介
1、隨著工農業(yè)的迅速發(fā)展,對薄膜的需求量日趨增大,其產(chǎn)品廣泛應用于農業(yè)生產(chǎn)、電子工業(yè)、化學分析等領域。根據(jù)不同的用途和使用環(huán)境,對薄膜厚度也提出了不同的要求。如果在薄膜生產(chǎn)過程中進行厚度檢測與控制,在保證質量的同時還可節(jié)約原材料,同時還有利于生產(chǎn)線的高速穩(wěn)定運行。 在線測厚設備的應用,優(yōu)點是:在線測厚能夠以最快的速度獲取厚度測試數(shù)據(jù),通過數(shù)據(jù)分析,及時調整生產(chǎn)線的參數(shù),縮短開車時間。缺點是:在線測厚設備必須配備與生產(chǎn)線相匹配的掃描架
2、,這在一定程度上限制了在線測厚設備的重復利用。 本論文詳細介紹了對薄膜厚度測量設備的測量控制方案的制定與實現(xiàn),利用單片機對伺服電機進行控制并接收編碼器和CCD的信號,并用虛擬儀器軟件進行測量控制界面的制作,從而實現(xiàn)對光學傳感器測頭位置的控制及信號的讀取。然后對測量系統(tǒng)進行標定實驗,并給出了補償?shù)脑敿毑襟E及補償程序的實現(xiàn)。又對實驗數(shù)據(jù)進行了分析,找出系統(tǒng)測量重復性差的原因,并提出了改進的辦法,有助于下一步工作的繼續(xù)進行。
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