氧化銥薄膜的脈沖激光沉積、結(jié)構(gòu)控制及其性能研究.pdf

1、IrO2薄膜具有導(dǎo)電性好，耐腐蝕能力強(qiáng)，并能有效的阻擋高溫下元素間(O、Zr、Pb、Ti等)的擴(kuò)散等特點(diǎn)，已成為高密度動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(DRAMs)和非揮發(fā)性鐵電隨機(jī)存儲(chǔ)器(FeRAMs)電極的優(yōu)選材料。而且，作為pH電極材料，IrO2薄膜能夠彌補(bǔ)傳統(tǒng)玻璃電極存在的阻抗高、易破損、在高堿性情況下存在“鈉誤差”以及對(duì)100℃以上的溶液pH值不能有效測(cè)量的缺陷。 論文基于脈沖激光沉積(PLD)技術(shù)，設(shè)計(jì)了兩種IrO2薄膜的制備方法(即

2、通過先沉積Ir薄膜再后續(xù)氧化和在氧的氣氛中，原位反應(yīng)沉積IrO2薄膜)，分別在Si(100)、SiO2/Si(100)以及石英玻璃襯底上制備IrO2薄膜。重點(diǎn)研究了氧分壓、襯底溫度、激光輸出能量、靶-襯底間距等PLD工藝參數(shù)和后續(xù)退火對(duì)其結(jié)構(gòu)和性能的影響，以得到高質(zhì)量的IrO2薄膜，并基于其應(yīng)用背景，對(duì)Si(100)上沉積的IrO2薄膜在高溫低氧以及高于100℃的酸堿溶液中的穩(wěn)定性進(jìn)行了研究。 結(jié)果表明：在Si(100)上沉積的

3、Ir薄膜表面粗糙度都低于1nm，對(duì)其在空氣中、700～850℃范圍內(nèi)氧化后發(fā)現(xiàn)：除IrO2外，還有Ir存在。得到的IrO2薄膜表面粗糙度隨氧化溫度的升高逐漸增大；襯底材料對(duì)薄膜的表面結(jié)構(gòu)影響較大，通過對(duì)襯底的預(yù)處理，可有效改善薄膜的表面結(jié)構(gòu)，在750℃、SiO2/Si(100)上氧化的IrO2薄膜的表面粗糙度為3.7nm(1×1μm)。 以Ir為靶材，采用PLD在Si(100)上原位反應(yīng)沉積IrO2薄膜的過程中，工藝參數(shù)對(duì)于薄膜

4、的物相和結(jié)構(gòu)影響很大。通過分析氧分壓、襯底溫度和激光輸出能量得到了IrO2薄膜的最佳制備條件：氧分壓20Pa、襯底溫度500℃、激光輸出能量140mJ。在此條件下沉積的IrO2薄膜沿(101)取向生長(zhǎng)，厚度均勻，界面清晰，與硅襯底表面結(jié)合良好，其表面粗糙度為3.9nm，室溫電阻率為41μΩ·cm。 對(duì)Si(100)上沉積的IrO2薄膜在600～750℃范圍內(nèi)退火后，IrO2薄膜的晶粒沒有明顯長(zhǎng)大，但是顆粒與顆粒之間結(jié)合更緊密，顯

5、示出IrO2薄膜對(duì)溫度良好的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。適當(dāng)?shù)耐嘶鹛幚砜梢蕴岣逫rO2薄膜的導(dǎo)電性能，在750℃空氣中退火30min后，其電阻率達(dá)到最小值37μΩ·cm。在25～500℃范圍內(nèi)，IrO2薄膜的高溫電阻率隨著溫度的升高呈線性關(guān)系逐漸增大，呈現(xiàn)出類似金屬的導(dǎo)電特征。而且，退火以后，這種線性關(guān)系更明顯，其電阻率也趨于穩(wěn)定，顯示出IrO2薄膜的導(dǎo)電性能隨溫度變化的穩(wěn)定性。 通過對(duì)樣品進(jìn)行電阻率和Hall效應(yīng)聯(lián)合測(cè)量發(fā)現(xiàn)，在250～400

6、℃沉積的IrO2薄膜載流子的類型為p型；但是，沉積溫度較高(500℃)時(shí)或在更高溫度退火處理后，以電子導(dǎo)電為主。晶粒間界在IrO2薄膜的導(dǎo)電機(jī)制中發(fā)揮重要的作用。 IrO2薄膜在可見光范圍內(nèi)具有較高的透過率，且隨薄膜厚度的減小，其透過率增加，在400～800nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)，可達(dá)80％(厚度為65nm)。提高沉積溫度以及退火處理都可以減少薄膜表面的缺陷，從而降低對(duì)光的吸收和散射，因而可以提高IrO2薄膜的透過率。 對(duì)Si(

7、100)襯底上沉積的IrO2薄膜在1Pa氧分壓環(huán)境中的穩(wěn)定性研究表明：IrO2能夠在低于650℃的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定存在，與熱力學(xué)計(jì)算結(jié)果基本一致。退火后，IrO2薄膜表面結(jié)構(gòu)保持不變，顯示出IrO2薄膜在此條件下良好的穩(wěn)定性；在此溫度范圍內(nèi)退火后，IrO2薄膜的電阻率有所升高，但是增幅都在10μΩ·cm以內(nèi)。能夠滿足IrO2薄膜在DRAMs中對(duì)于底電極材料的使用要求。 對(duì)Si(100)上沉積的IrO2薄膜在pH=3和pH=10的溶