基于鎖相放大器的噪聲測試系統(tǒng)與測試技術(shù)研究.pdf

1、電子器件的電噪聲，特別是低頻噪聲是制約器件靈敏度和精度的關(guān)鍵指標(biāo)，同時也是表征器件質(zhì)量和可靠性的敏感參數(shù)。電子器件的可靠性與其低頻噪聲特性密切相關(guān)，使用噪聲測試方法能夠?qū)ζ骷煽啃宰龀鲈u價。而噪聲的研究受限于噪聲測試技術(shù)的敏感性。目前有關(guān)此方面的研究仍是一個非常活躍的領(lǐng)域，尚待解決的問題仍然很多，比如超低阻器件低頻噪聲的檢測與分析技術(shù)、具備復(fù)雜電路模塊器件低頻噪聲的檢測與分析技術(shù)等等。 本文在電噪聲測量技術(shù)基礎(chǔ)理論詳細研究與分析

2、的基礎(chǔ)上，結(jié)合我實驗室具體情況，實現(xiàn)了基于鎖相放大器的交流電橋噪聲測試系統(tǒng)，并對此測試系統(tǒng)進行了驗證和應(yīng)用。使用本鎖相放大器測試系統(tǒng)獲取了厚膜樣品和鋁互連電遷移樣品的電噪聲參數(shù)數(shù)據(jù)，并對本系統(tǒng)測試結(jié)果與實驗室原有系統(tǒng)測試結(jié)果進行了分析對比，取得了以下研究成果： 1、系統(tǒng)的分析了電子元器件電噪聲測試方法。 2、在實驗實踐和理論研究基礎(chǔ)上總結(jié)了噪聲測試中應(yīng)該注意的具體實驗技術(shù)。 3、提出了一種基于鎖相放大器的抑制背景