摻鋯酸鋇的高溫超導氧化物YBCO薄膜的制備及超導性能研究.pdf

1、高溫超導氧化物YBCO外延薄膜在摻入少量鋯酸鋇(BaZrO3，BZO)后，YBCO外延薄膜的超導性能會得到較大幅度的提高。本文研究了不同制備條件對摻BZO的YBCO薄膜的外延特性及超導性能的影響。 本文采用固相反應法制備了YBCO及BZO原材料，利用固相燒結(jié)工藝制備含BZO質(zhì)量比為2％的YBCO-BZO復合靶材，并對制備出的粉體及靶材進行了測試分析，獲得高質(zhì)量的超導靶材。 本文采用脈沖激光沉積技術(PLD)在LaAlO3

2、(100)基片上外延生長摻鋯酸鋇的YBCO薄膜。在不同的薄膜襯底溫度、氧分壓、以及激光脈沖頻率等工藝參數(shù)下制備了摻鋯酸鋇的YBCO薄膜，用X射線衍射和高分辨透射電子顯微技術對所制備的YBCO薄膜的外延特性進行了分析。最后比較了不同制備條件下YBCO薄膜的超導性能，得到了最佳制備工藝參數(shù)。最佳工藝參數(shù)為：基片溫度為800℃，沉積氧分壓是25Pa，脈沖激光重復頻率為3Hz，脈沖激光數(shù)量為3200～8000次，靶距為4cm，沉積結(jié)束后在500