MCP擴口工藝的理論、實驗與測試技術(shù)研究.pdf

1、本文首先對微光夜視系統(tǒng)的組成及工作原理、發(fā)展、應(yīng)用、國內(nèi)外夜視技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀及未來發(fā)展動向作了簡單介紹，針對微通道板（MCP）中各種噪聲的來源、表征、計算和測試方法進行了研究，分析了引起噪聲的各種外部和內(nèi)部因素，為降低MCP噪聲、開發(fā)先進MCP生產(chǎn)技術(shù)提供理論依據(jù)。 然后深入分析了MCP端面電子散射與光子散射的整個過程，給出了MCP電流增益、噪聲因子與其開口面積比之間的定量關(guān)系，從理論上闡明了增大MCP開口面積比對提高其電流增益和

2、信噪比性能的影響。通過對散射噪聲形成過程的分析，證明了MCP開口面積比對散射噪聲的影響很大，若增大開口面積比，既可減少散射噪聲，又可增大信號光電子進入通道的數(shù)量，使信號輸出電流增大，可大大提高信噪比和對比度。本文對將8μm孔徑的MCP擴大為9μm（保持其它參數(shù)不變）進行了仿真，得出了最大腐蝕直徑和最小腐蝕深度。 確定了采用化學(xué)腐蝕的方法對MCP進行擴口，闡述了擴口原理和工藝步驟，在擴口工藝的研究上已經(jīng)取得了突破性進展。

3、研究了擴口MCP檢測方法與評價技術(shù)，構(gòu)建了擴口MCP的平面檢測與評價系統(tǒng)和三維立體檢測系統(tǒng)。三維立體檢測采用激光共焦掃描顯微鏡對MCP樣品進行檢測，并對檢測結(jié)果進行數(shù)字圖像處理，給出MCP的三維立體圖和MCP端面光潔度及每幅縱向掃描圖的通道孔徑（或開口面積比）圖，從而確定MCP擴口的形狀和尺寸。平面檢測系統(tǒng)則包括硬件和軟件兩部分，硬件由生物光學(xué)顯微鏡、CCD攝像頭、圖像采集卡和PC計算機構(gòu)成，集圖像觀察、采集、顯示于一體。軟件是專門針對