分子泵磁懸浮軸承結(jié)構(gòu)及功率放大器設計.pdf

1、磁懸浮軸承是一種典型的機電一體化產(chǎn)品，是利用磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空中的一種新型高性能軸承。與傳統(tǒng)軸承相比，具有無接觸、無摩擦、壽命長、能耗低、噪聲小、無需潤滑等優(yōu)點，實際應用越來越廣泛。本課題研究的目的是，解決傳統(tǒng)軸承型分子泵應用在半導體制造行業(yè)時出現(xiàn)轉(zhuǎn)速低、壽命短、真空不潔凈等問題，設計分子泵的磁懸浮軸承結(jié)構(gòu)和功率放大器，對實現(xiàn)分子泵在半導體工業(yè)中的良好應用有著重要的意義。
　　首先綜合考慮了分子泵體積小、磁軸承散熱條件不好的特

2、點，設計了分子泵磁懸浮軸承的結(jié)構(gòu)，選擇了軸承鐵芯的材料，設計了磁極的布置、槽的形狀、磁極數(shù)目和線圈纏繞方式。
　　其次，為了得到最佳結(jié)構(gòu)參數(shù)，對分子泵磁軸承結(jié)構(gòu)參數(shù)進行了優(yōu)化設計，建立了磁軸承結(jié)構(gòu)設計優(yōu)化模型，以磁軸承體積最小為優(yōu)化目標，以線圈溫升小于允許溫升和承載力滿足載荷要求等為約束條件。
　　最后闡述了功率放大器的工作原理和特性，在分析了目前開關(guān)功率放大器所采用的調(diào)制技術(shù)、比較了各種調(diào)制技術(shù)優(yōu)缺點的基礎(chǔ)上，設計了脈寬調(diào)