

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、MEMS 微型流量傳感器是微傳感器的一個重要的分支,廣泛用于微流體、生物學、醫(yī)學、衛(wèi)生、食物等各個領域。根據其測量原理,可分為熱式流量傳感器和非熱式流量傳感器兩大類。熱式流量傳感器測量范圍較寬,具有很高的靈敏度,流量下限很低,但其輸出是呈非線性的,有反應時間長,功耗大,襯底的熱傳導導致測量誤差,零點隨環(huán)境溫度的漂移等問題。非熱式流量傳感器,具有功耗小,無零點漂移,檢測電路簡單,響應時間短等優(yōu)點。本課題所研究的葉輪式微流量傳感器是將流量的
2、信息轉換成相應的電信號來進行測量的,屬于非熱式流量傳感器。 本課題的工作主要分為三個部份。首先對葉輪式流量傳感器進行了結構設計和工藝流程設計,分析了流速與葉輪扭矩和葉輪轉速之間的對應關系,同時也介紹了傳感器的加工藝過程和方法。硅-硅鍵合、淺槽刻蝕、ICP刻蝕、硅一玻璃鍵合等MEMS工藝,并初步估算了傳感器構成的電容的大小和變化范圍。第二部份是對葉輪式流量傳感器的檢測電路進行了設計與調試。根據該傳感器的工作原理-當流體使流量傳感器
3、的葉輪轉動,引起電容的變化。流量的大小對應了轉速的大小,也對應了電容變化率,在檢測電路中主要考慮了將電容變化通過取樣,利用由施密特觸發(fā)器構成的振蕩電路,輸出頻率隨著電容變化的變頻振蕩波,再通過由單穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器和 D 觸發(fā)器構成的數字鑒頻電路,將頻率的變化率檢測出來,該頻率對應了某一電容,從而反映電容的變化周期,進而反映出流量的大小。通過電路設計,仿真并實際搭制電路,并用于流量傳感器模型,實現了該檢測電路的功能。課題的最后為了進一步使傳感器
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 測產系統(tǒng)轉速傳感器的設計與流量傳感器的改進研究.pdf
- 基于渦輪流量傳感器的水流量檢測系統(tǒng)設計與實現.pdf
- 基于磁阻傳感器的車流量檢測系統(tǒng)的設計與應用.pdf
- 水閥內置流量傳感器的設計與開發(fā).pdf
- 磁場傳感器的驅動與檢測技術.pdf
- 傳感器與檢測技術-1傳感器與檢測數據處理
- 傳感器與檢測技術教案
- 基于激光傳感器的在航船舶流量檢測技術研究.pdf
- 雙葉輪式質量流量計的設計與實現.pdf
- 光纖光柵流量傳感器的優(yōu)化設計
- 傳感器與檢測技術題庫
- 傳感器與檢測技術教案
- 《傳感器與檢測技術》題庫
- 傳感器與檢測技術-6溫度檢測
- 光電式籽棉流量傳感器的優(yōu)化設計與研究.pdf
- 傳感器技術檢測課程設計
- 流量傳感器.dwg
- 流量傳感器.dwg
- 流量傳感器.dwg
- 流量傳感器.dwg
評論
0/150
提交評論