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文檔簡介
1、硅片倒角是指把切割后硅片的銳利邊緣通過磨削修整成圓弧形,其目的是消除邊緣切割應力,防止邊緣破裂及顆粒脫落。本文對硅片倒角機磨削系統(tǒng)的關鍵技術進行研究。 本文通過對主軸系統(tǒng)的軸承組配方式、預緊方式、離心力和陀螺力矩等主軸軸承應用理論的研究,確定了主軸軸承及支撐結構。分析滾珠絲杠、滾動直線導軌的特點和工作臺機械傳動機構系統(tǒng)特性,得出了提高系統(tǒng)定位精度和提高系統(tǒng)跟隨指令的方法,確定了工作臺滾動直線導軌和滾珠絲杠的支撐形式。研究精密磨削
2、的特點,分析了影響倒角質量的主要因素,對磨削力和磨削熱造成的局部表面溫度進行了理論計算,確定了硅片倒角的磨削深度、磨削速度和冷卻液流量等系統(tǒng)工藝參數(shù)。 本文針對單晶硅片的邊緣磨削特點和要求,通過主軸軸承應用理論和工作臺應用技術研究及磨削力和磨削溫度的分析設計了磨削系統(tǒng)機械結構。對主軸剛性和滾珠絲杠軸向剛性誤差進行了理論計算;對磨削主軸模態(tài)及共振頻率使用ANSYS軟件進行分析;對系統(tǒng)設計進行試驗驗證和數(shù)據(jù)分析。通過研究解決了硅片邊
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