多晶硅碰壁檢測技術研究.pdf

1、多晶硅碰壁檢測儀表是生產(chǎn)多晶硅提純生產(chǎn)線中的一個裝置，它屬于調壓柜的一部分，硅在高溫下可以提純?yōu)槎嗑Ч?，這個過程中，由于時間過長硅棒會變軟，彎曲，可能會碰到爐壁，而爐壁的耐熱溫度低于硅棒自身的溫度，時間過長硅棒就會將爐壁燒壞，這樣爐內(nèi)的有毒氣體就會外逸，造成人員傷亡，這種情況是非常危險的。目前國內(nèi)還沒有能夠檢測出多晶硅碰壁的裝置，只能通過人工看守。 多晶硅碰壁檢測儀表主要功能就是為了解決國內(nèi)的這個問題，當硅棒受熱彎曲碰到爐壁時，

2、能夠及時報警，進行相應的處理。所以，研制出多晶硅檢測儀表在國內(nèi)有著重大的意義。單晶硅兩端加高壓，爐壁與大地連接，同時將檢測儀表外接在爐子外部，當硅棒碰到爐壁時，會產(chǎn)生電流，而外接檢測儀表本身也有一個電源裝置，硅棒碰壁時也產(chǎn)生電流，兩者電流疊加會產(chǎn)生更大的電流，將電流通過功率放大裝置放大，經(jīng)過采樣裝置將電流信號采集出來，再通過濾波裝置消除其它無用的諧波，最后用比較裝置判斷信號是否滿足碰壁的要求，如果滿足碰壁條件，報警裝置就會發(fā)出信號，進行