電容傳感器測(cè)量電路的研究與應(yīng)用.pdf

1、本文研究了電容傳感器測(cè)量電路的應(yīng)用背景和國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀,針對(duì)水銀電容加速度傳感器的輸出背景電容大、變化量相對(duì)小的特點(diǎn),選擇了基于電荷放大原理的電容測(cè)量電路.該電路性能好,精度高.綜合國(guó)內(nèi)外研究分析,可見電容傳感器有相當(dāng)廣闊的應(yīng)用前景.本文圍繞三維水銀電容加速度傳感器的設(shè)計(jì),詳細(xì)分析了兩大部分的內(nèi)容:基于專用集成電路的微小電容測(cè)量電路和便于多電極電容測(cè)量的基于電荷放大原理的微小電容測(cè)量電路.第一部分,詳細(xì)探討了專用集成電路QTM2000模

2、塊的功能、特性和工作原理,論述了基于專用集成電路的微小電容測(cè)量電路的工作原理和具體的設(shè)計(jì)方法.實(shí)驗(yàn)研究結(jié)果表明,該電路的原理方案正確、可行,并已達(dá)到了課題的要求.第二部分,詳細(xì)探討了便于多電極電容測(cè)量的基于電荷放大原理的微小電容測(cè)量電路的工作原理和設(shè)計(jì)方法,并重點(diǎn)論述了開關(guān)的電荷注入效應(yīng)對(duì)測(cè)量分辨率的影響問(wèn)題和解決的方法.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該電路的原理方案正確、可行,并已基本達(dá)到了測(cè)量小電容的目的.另外,本文還探討了多電極的微小電容測(cè)量電路