超快電信號電光采樣測試系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著微納電子技術、光電子技術和微納加工技術的飛速發(fā)展,電子器件呈現(xiàn)出微型化和高速化的發(fā)展趨勢.如何對這樣的超快器件,特別是在其工作于電路之中時,進行準確的性能評價,成為電子學發(fā)展道路上的主要挑戰(zhàn).傳統(tǒng)的電學測量方法受限于其固有的缺點,無法勝任這一工作. 在這樣的背景下,本課題采用原子力顯微鏡針尖氧化方法加工超快光導開關作為超快電信號產(chǎn)生源,研究并構(gòu)建電光采樣系統(tǒng)原型以實現(xiàn)對其的測量,同時對系統(tǒng)的關鍵組成部分進行了分析和測試,以期

2、發(fā)展出應用于超快器件輸出性能描述的自動測試系統(tǒng). 本論文的主要研究內(nèi)容和取得的研究成果如下: 1. 在查閱文獻的基礎上,對目前所應用的各種超快電信號測量技術進行了分析比較. 2. 通過分析光導開關的基本原理,設計超快光導開關,包括襯底材料的選擇,具體結(jié)構(gòu)和加工方法的設計等；通過理論計算獲得超快光導開關的輸出特性. 3. 根據(jù)晶體光學原理,分析電光效應產(chǎn)生的機理,并由此引申出電光采樣技術的原理,研究其主要評