光伏新材料a-C：N薄膜及a-C：N-P-Si異質(zhì)結研究.pdf

1、太陽能光伏發(fā)電以其能量無限和無環(huán)境污染的獨特優(yōu)點，成為目前解決能源和環(huán)境問題最有希望的可再生能源。我們通過大量文獻資料的查閱，了解了太陽電池發(fā)展的現(xiàn)狀和面臨的困難，明確了本課題的研究背景和意義。屬于第三代太陽電池的熱載流子太陽電池突破了傳統(tǒng)熱平衡限制的太陽電池極限效率，同時，薄膜化工藝又可大幅降低太陽電池成本，是未來太陽電池的發(fā)展方向之一。根據(jù)熱載流子太陽電池的理論和課題組以往的研究結果，我們認為a-C:N (非晶氮化碳) 薄膜是有希望

2、成為第三代熱載流子太陽電池的光伏新材料。 近年來，將碳基材料應用于太陽電池和半導體器件的研究已經(jīng)受到國內(nèi)外學術和產(chǎn)業(yè)界的重視。該課題正是在此背景下，由上海市科委立項資助，開始對a-C:N及a-C:N/P-Si異質(zhì)結進行的系統(tǒng)研究。 本文的主要工作和創(chuàng)新之處在于： 第一，采用離子束濺射反應沉積技術，在P型絨面硅和P型硅基片上沉積出用于制備太陽電池的a-C:N薄膜，對離子束能量的變化對a-C:N的影響做了研究。我們制

3、作了兩種常規(guī)電極，以便獲得穩(wěn)定的異質(zhì)結開路電壓，以研究異質(zhì)結光伏特性。用真空熱蒸鍍工藝在a-C:N/P-Si異質(zhì)結的a-C:N薄膜表面鍍上一層半透明的鋁薄膜。首次采用磁控濺射法在a-C:N/P-Si異質(zhì)結的a-C:N薄膜表面制備了一層ITO透明導電薄膜。 第二，為了研究薄膜微結構的變化及異質(zhì)結開路電壓變化與沉膜工藝的關系，對a-C:N薄膜進行了Raman、TEM、EDS及HRTEM測試，對Al/a-C:N/P-Si異質(zhì)結和ITO

4、/a-C:N/P-Si異質(zhì)結開路電壓進行了測定，并對數(shù)據(jù)結果進行了分析。ID/IG 比率，Isi/IG 比率是研究氮化碳薄膜微結構的重要拉曼參數(shù)，對這些參數(shù)隨氮離子束能量的變化進行了研究。EDS和TEM測試顯示，隨著氮離子束能量增大，薄膜中氮原子含量下降，團簇尺寸大幅下降，非晶網(wǎng)絡中團簇分布也趨于均勻。對HRTEM顯微照片上的納米晶粒晶面間距進行計算，可推斷出該晶體結構可能含有混合的α- 、β-C3N4相，其中α-C3N4相占主要地位。

5、在AM1.5 標準光照下測得Al/a-C:N/P-Si異質(zhì)結和ITO/a-C:N/P-Si異質(zhì)結開路電壓隨氮離子束能量的增加而增大。將開路電壓的變化與薄膜結構的變化聯(lián)系起來，我們得到了對應較高開路電壓的薄膜結構和沉膜工藝，為下一步工作的深入打下基礎。 我們對光伏新材料a-C:N薄膜及a-C:N/P-Si異質(zhì)結的研究屬前瞻性探索。獲得的離子束濺射工藝制備的氮化碳薄膜的微觀結構和異質(zhì)結開路電壓隨氮離子束能量的變化規(guī)律，以及Al/a-