W波段新型慢波結(jié)構(gòu)的研究.pdf

1、微型真空電子器件近期得到了蓬勃的發(fā)展，這種器件的小型互作用電路的研發(fā)也取得了令人矚目的成果，已經(jīng)成為當(dāng)前真空電子學(xué)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。微型真空電子器件充分結(jié)合了微波真空電子器件的工作原理和微細(xì)加工的特點(diǎn)，既適合高頻、大功率應(yīng)用，能夠適應(yīng)寬廣的溫度范圍和強(qiáng)輻射環(huán)境，又實(shí)現(xiàn)了微細(xì)加工技術(shù)高精度、低成本、高可重復(fù)性等優(yōu)勢，滿足高頻器件對加工十分苛刻的要求。折疊波導(dǎo)慢波結(jié)構(gòu)是一種全金屬結(jié)構(gòu)，在高頻應(yīng)用中具有大功率、寬頻帶的特性；矩形柵波導(dǎo)慢波結(jié)構(gòu)在

2、微波及毫米波技術(shù)中有廣泛的應(yīng)用，尤其是它作為一種經(jīng)典的慢波結(jié)構(gòu)被大量的微波電子系統(tǒng)所采用，例如返波振蕩器和行波管等等。而他最吸引人的優(yōu)點(diǎn)是柵結(jié)構(gòu)在小尺寸、短波長情況下的可量測性。與微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)(MEMS)的兼容可以使上述兩種慢波結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)可靠、精確、高重復(fù)性的加工工藝。目前應(yīng)用最新的微加工技術(shù)，新型微真空電子器件作為毫米波或者太赫茲源的小型電路的精密制造已經(jīng)成為真空微電子學(xué)中重要的研究領(lǐng)域之一，微型折疊波導(dǎo)行波管可以作為一種毫米波、甚至

3、亞毫米波小型輻射源[35][36]。矩形柵慢波結(jié)構(gòu)作為一種帶狀電子束行波管的慢波結(jié)構(gòu)正成為現(xiàn)今研究的熱點(diǎn)[10][32][34][38]。針對軍事電子裝備、雷達(dá)系統(tǒng)、通訊等應(yīng)用的需求，W波段新型慢波結(jié)構(gòu)的研究對于該波段的這種新型器件的開拓有重要作用。 本文以W波段折疊波導(dǎo)慢波結(jié)構(gòu)和矩形柵波導(dǎo)慢波結(jié)構(gòu)為研究對象。研究的目的是為利用微細(xì)加工技術(shù)制造微型折疊波導(dǎo)行波管或者利用矩形柵慢波結(jié)構(gòu)為高頻系統(tǒng)的帶狀束行波管奠定理論基礎(chǔ)和參考價值