22160.gd靶激光等離子體極紫外光源的碎屑和光譜特質(zhì)研究

1、分類號(hào)：密級(jí)：可公開UDC：編號(hào)：Gd靶激光等離子體極紫外光源的碎屑和光譜特質(zhì)研究INVESTIGATIONOFTHEDEBRISSPECTRALBEHAVIOFLASERPRODUCEDGDPLASMAEXTREMEULTRAVIOLETSOURCES學(xué)位授予單位及代碼：長(zhǎng)春理工大學(xué)（10186）學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：等離子體物理(070204)研究方向：激光等離子體物理申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士指導(dǎo)教師：孫長(zhǎng)凱講師研究生：高健論文起止時(shí)間：2

2、013.11—2014.12摘要在半導(dǎo)體制造工藝中，高溫激光等離子體極紫外輻射被認(rèn)為是下一代光刻技術(shù)最有前景的候選者。錫和釓元素是目前為止極紫外光源中，中心波長(zhǎng)分別為13.5nm和6.7nm、2%帶寬內(nèi)轉(zhuǎn)化效率最高的靶材。其發(fā)生的4d4f和4p4d躍遷，即n=4n=4的不可分辨躍遷陣列(UTA)是形成帶內(nèi)輻射的主要機(jī)制。其中Sn8到Sn13的離子躍遷及Gd12到Gd25的離子躍遷分別構(gòu)成了錫和釓極紫外輻射光譜的主要成分，它們具有相似的光

3、譜性質(zhì)。對(duì)其光譜性質(zhì)的研究是極紫外光源的主要內(nèi)容之一。另外，激光等離子體產(chǎn)生極紫外輻射的同時(shí)，會(huì)產(chǎn)生一定量的碎屑。碎屑主要由較大微粒、熔融液滴、中性粒子和高能離子組成。產(chǎn)生的碎屑會(huì)沉積在光源的光學(xué)收集系統(tǒng)表面，對(duì)其造成嚴(yán)重的損傷和影響，致使反射率降低、壽命減少，影響長(zhǎng)期工作的穩(wěn)定性；另一方面，產(chǎn)生的碎屑也會(huì)對(duì)產(chǎn)生的極紫外光輻射強(qiáng)烈的吸收，限制了光源的轉(zhuǎn)化效率。因此，極紫外光源碎屑的動(dòng)力學(xué)及減緩碎屑方法也是極紫外光源研究中亟待解決的問題之