26984.基于微環(huán)諧振器的光學(xué)加速度地震檢波器的研究

1、華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文基于微環(huán)諧振器的光學(xué)加速度地震檢波器的研究姓名：莫文琴申請學(xué)位級別：博士專業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：周治平20110518華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文II可探測信號；而高Q值將從很大程度上降低光譜噪聲，提高系統(tǒng)的波長探測極限。(5)在原有的單環(huán)設(shè)計上進行改進，選用FSR不同的微環(huán)進行級聯(lián)，利用“游標尺”技術(shù)，F(xiàn)SR最小的微環(huán)保證測量極限，而FSR最大的微環(huán)保證系統(tǒng)的測量范圍。模擬分析表明：在信噪比

2、SNR=30的探測系統(tǒng)下，光強檢測方式的動態(tài)范圍從29.1dB提高到47.6dB；同時波長探測的動態(tài)范圍與單環(huán)相比也提高了一倍。(6)對微環(huán)的加速度制備工藝進行了研究，給出了光波導(dǎo)和機械振動部分制備的工藝流程。利用電子束光刻、等離子體增強化學(xué)氣相沉積、感應(yīng)耦合等離子體刻蝕來實現(xiàn)跑道型微環(huán)諧振器的制備；通過以二氧化硅為掩膜的輔助光刻以及硅片背面刻蝕技術(shù)來實現(xiàn)振動部分的制備。制備了跑道型微環(huán)諧振器，測試結(jié)果表明特征譜線的消光比達到9.772