真空熔爐設(shè)計說明書

1、<p><b>　　摘 要</b></p><p>　　本論文設(shè)計的是為冶金工業(yè)中用來提高鎬基合金性能的設(shè)備提供必要條件的系統(tǒng)——真空獲得系統(tǒng)，設(shè)計主要包括：溶煉室真空機組、熔滲室真空機組、快淬室真空機組的設(shè)計等等。</p><p>　　真空獲得技術(shù)是一切真空應(yīng)用的技術(shù)基礎(chǔ),真空獲得設(shè)備關(guān)系到所有真空應(yīng)用設(shè)備的運行和使用。為了滿足設(shè)備可以在高真空的條件下工

2、作，所以選擇合適的機械泵，羅茨泵，分子泵組成合適的真空機組，使各真空室達到工作的真空條件。</p><p>　　在設(shè)計中，為了使溶煉室、熔煉室達到高真空選擇機械泵與羅茨泵組成前級泵機組進行預(yù)抽達到粗真空，分子泵為高級泵即主抽泵。快淬室在低真空條件下工作選擇機械泵、羅茨泵進行抽真空。密封方面，采用了機械密封，密封性能可靠。</p><p>　　關(guān)鍵詞：真空機組；機械泵；羅茨泵；分子泵；粗真空

3、；高真空</p><p><b>　　Abstract</b></p><p>　　This thesis is for the metallurgical industry to improve the Ho-based alloys to provide the necessary conditions for the system equipment——Vacu

4、um access system，Design includes：Smelting chamber vacuum unit、Infiltration chamber vacuum unit、Quenching chamber vacuum unit design and others。</p><p>　　Vacuum access to technology is the technical foundatio

5、n for all vacuum applications，Vacuum obtain equipment related to the operation of all vacuum equipment and the use of。To meet the device can work under high vacuum conditions，So choose a suitable mechanical pumps, Roots

6、pumps, molecular composition of a suitable vacuum pump unit，So that the work of the vacuum chamber to vacuum conditions。</p><p>　　In the design，In order to smelting room, select the melting chamber to high v

7、acuum mechanical pump and Roots pump before the pump unit composed of pre-pumping to rough vacuum，High molecular pump that is the main pumping pumps。Quenched room to work in low vacuum conditions select mechanical pump,

8、Roots vacuum pump。Seal, the use of mechanical seals, sealing performance and reliable。</p><p>　　Keywords：Vacuum unit; mechanical pump; Roots pump; molecular pump;</p><p>　　rough vacuum; high vac

9、uum</p><p><b>　　目 錄</b></p><p><b>　　1 緒論1</b></p><p>　　1.1 非晶合金發(fā)展概述1</p><p>　　1.2 Zr基非晶合金的性能2</p><p>　　1.2.1 力學(xué)性能2</p&g

10、t;<p>　　1.2.2 耐腐蝕性能4</p><p>　　1.2.3 加工性能4</p><p>　　1.3 真空獲得設(shè)備發(fā)展概述4</p><p>　　1.3.1 真空技術(shù)發(fā)展簡介4</p><p>　　1.3.2 綜合評價5</p><p>　　2 鋯基非晶合金真空熔煉壓力熔滲

11、爐真空系統(tǒng)設(shè)計6</p><p>　　2.1 工作原理及主要技術(shù)性能指標6</p><p>　　2.2 真空獲得系統(tǒng)7</p><p>　　2.2.1 真空機組選用原則7</p><p>　　2.2.2 真空泵工作壓力范圍8</p><p>　　2.2.3 旋片泵工作原理及其型號確定10</

12、p><p>　　2.2.4 羅茨泵工作原理及其型號確定錯誤!未定義書簽。</p><p>　　2.2.5 羅茨泵真空機組抽氣速率22</p><p>　　2.2.6 分子泵工作原理及其型號確定23</p><p>　　3 熔煉室殼體計算28</p><p>　　4 熔滲爐的殼體設(shè)計與壁厚計算29<

13、/p><p>　　4.1 殼體壁厚計算29</p><p>　　4.2 筒體上部大法蘭的設(shè)計計算33</p><p>　　5 真空室抽氣時間計算33</p><p>　　5.1 氣體沿管道流動狀態(tài)及流導(dǎo)計算33</p><p>　　5.2 抽氣時間計算38</p><p>　　5

14、.2.1 粗真空、低真空下抽氣時間38</p><p>　　5.2.2 高真空下抽氣時間計算40</p><p><b>　　6 結(jié)論42</b></p><p><b>　　7 致謝43</b></p><p>　　8 參考文獻44</p><p>&l

15、t;b>　　1 緒 論</b></p><p>　　1.1 非晶合金發(fā)展概述</p><p>　　非晶態(tài)合金不具備長程原子有序，也叫玻璃態(tài)合金，是新型材料研究的熱點之一。非晶合金具有優(yōu)異的力學(xué)性能（高的強度、硬度等），耐腐蝕性能，軟、硬磁性能以及儲氫性能等，在機械、通訊、航空航天、汽車工業(yè)乃至國防軍事上都具有廣泛的應(yīng)用潛力。因此，開發(fā)塊體非晶合金成為這類材料實用化的重

16、點。</p><p>　　1943年，德國物理學(xué)家Kramer用蒸發(fā)沉積的方法成功制備出了非晶態(tài)薄膜，自此，非晶的研究逐步開展。1951年，美國物理學(xué)家Turnbull通過水銀的過冷實驗，提出液態(tài)金屬可以過冷到遠離平衡熔點以下而不產(chǎn)生形核與長大，達到非晶態(tài)，Turnbull是非晶態(tài)合金的理論奠基人。</p><p>　　1960年Duwe等采用熔體快速冷卻方法首先制備出Au-Si非晶態(tài)合金

17、。1969年，Pond等用扎輥發(fā)制備出了長達幾十米的非晶薄帶。20世紀70年代后，人們制備出厚度小于50µm、寬15cm的連續(xù)非晶薄帶。1974年Chen在約10³K/s的冷卻速度條件下用Pd-Cu-Si熔體首次得到毫米級直徑的非晶。20世紀80年代前期，Turnbull等采用氧化物包覆技術(shù)以10K/s的冷卻速度制備出厘米級的Pd-Ni-P非晶。20世紀80年代，A.Inoue等在日本東北大學(xué)成功發(fā)現(xiàn)了La-Al-N

18、i和La-Al-Cu等三元合金。此后，又制備了厘米級的四元和五元塊體非晶合金。2000年Inoue課題組成功發(fā)展了高強度Cu-Zr-Hf-Ti和Co-Fe-Ta-B快體非晶合金。2003年，美國橡樹嶺國家實驗室Lu和Liu使Fe基非晶合金的尺寸從過去的毫米推進到厘米級，最大直徑可達12mm。此后哈工大沈軍等又將Fe基快體非晶合金尺寸提高到16mm。最近，中科院金屬所的Ma等發(fā)現(xiàn)了尺寸可達25mm的Mg-Cu-Ag-Pd非晶態(tài)合金。目前世

19、界上最大的稀土基金屬玻璃材料—直徑為35mm的鑭基金屬玻璃系，由浙江大</p><p>　　鋯基非晶合金作為一種新型的非晶合金系列在近年來引起了人們的關(guān)注。多組元鋯基非晶合金系列都具有較低的臨界冷卻速度，采用傳統(tǒng)的方法如吸鑄法，水淬法等均可以將其制備成大塊非晶。目前，通過負壓鑄造法已制備出直徑達30mm的鋯基大塊非晶合金。鋯基非晶合金的研究主要集中在熱力學(xué)計算、晶化行為、短程和中程有序結(jié)構(gòu)以及性能等幾個方面。鋯基

20、多組元非晶合金由多種常用金屬或類金屬元素組成，其非晶形成的臨界冷卻速度遠低于傳統(tǒng)非晶合金，有些已經(jīng)接近于傳統(tǒng)的氧化物玻璃。由于其具有熱穩(wěn)定性高、過冷液相區(qū)寬等諸多特點，因此在國際上引起了廣泛重視。</p><p>　　1.2 Zr基非晶合金的性能</p><p>　　1.2.1 力學(xué)性能</p><p>　　非晶合金的原子呈長程無序排列、沒有晶體缺陷, 使其具有

21、獨特的變形行為和力學(xué)性能。一些典型鋯基非晶合金的力學(xué)性能如表1.1所示。</p><p>　　表1.1 Zr 基非晶合金的典型力學(xué)性能</p><p>　　1.2.1.1 彈性</p><p>　　雖然塊狀非晶合金的彈性模量由于合金體系的不同而有較大差別，但與相同成分的晶態(tài)合金相比他們的彈性模數(shù)值較低，彈性應(yīng)變量卻很大，可達2%左右。Zr 基非晶合金具有極高的彈性

22、比例，Howmen 公司已成功開發(fā)出Zr基非晶合金的高爾夫球桿。表1.2為典型Zr 基非晶合金的楊氏模量和斷裂強度。</p><p>　　表1.2 Zr 基大塊非晶合金的楊氏模量和強度</p><p>　　1.2.1.2 強度和硬度</p><p>　　圖1.1 為Zr基非晶合金與La-、Mg-、Pd-、Fe-基非晶合金, 以及一些典型的晶態(tài)合金的抗拉強度、硬度與

23、彈性模量間的關(guān)系?？梢钥闯? Zr 基非晶合金具有較高的屈服強度和硬度, 遠高于晶態(tài)合金。</p><p>　　鑄態(tài) 非晶合金的屈服強度為1.56GPa, 斷裂強度為1.65 Gpa； (x=7.5%～12.5%)塊體非晶合金的壓縮斷裂強度和硬度分別1.73～1.86 GPa 和693～824 HV, 并隨Ti含量的增加而提高；經(jīng)高強脈沖電流預(yù)處理的 大塊非晶在不發(fā)生晶化的條件下其抗壓強度最高達2.02GPa?？?/p>

24、見Zr基大塊非晶合金的強度仍有進一步提高的潛力。</p><p>　　對非晶合金的動態(tài)壓縮試驗表明, 在高應(yīng)變速率(10²～/s)下, 屈服強度對應(yīng)變速率不敏感。Bruck 等人發(fā)現(xiàn), 試樣的長徑比對 非晶合金的壓縮屈服強度有較大影響。但在動態(tài)載荷作用下,壓縮強度對長徑比的變化不敏感。大塊非晶合金的強度還受制備方法的影響。如采用壓鑄法和銅模法制備的Zr-Al-Ni-Cu 非晶合金的彎曲強度, 前者要比后

25、者高得多, 這是由于這兩種方法在冷卻過程中造成的殘余應(yīng)力差別很大的緣故。Liu 等研究了一系列試驗環(huán)境下的拉伸和壓縮行為, 結(jié)果表明試驗環(huán)境并不影響塊狀非晶合金的強度和韌性。</p><p>　　1.2.1.3 塑性和韌性</p><p>　　室溫下非晶合金一般呈現(xiàn)脆性斷裂特征, 塑性變形量主要由應(yīng)力狀態(tài)決定。在拉伸條件下, 非晶合金的變形局限于一狹窄的剪切帶內(nèi), 塑性變形也集中于剪切帶

26、內(nèi), 而在試樣其他部分仍保持剛性狀態(tài)。在彎曲條件下可產(chǎn)生多個剪切帶, 相應(yīng)地增大了伸長率。</p><p>　　Conner 等人和Gilbert 等人最早對塊狀 非晶合金的斷裂韌性()進行了測試。采用三點彎曲法, 試樣的厚度為2.2mm,測得約55。相當于高強鋼和Ti 合金的水平。2001 年,Xing采用真空吸鑄法制備出φ3mm 的非晶合金, 壓縮時的塑性變形為4.9%左右。2005 年, Jayanta研制

27、出具有超高強度和較高塑性的CuZr 非晶合金材料, 斷裂強度達2265 MPa, 同時具有一般非晶材料中不具備的加工硬化效應(yīng)和極大的延展性(延展率達20%)；隨后,Wang在2007 年研制出非晶合金, 它在室溫條件下同時具有超高塑性, 延展率達160%。</p><p>　　1.2.2 耐腐蝕性能</p><p>　　在腐蝕過程中, 由于晶體具有晶界、位錯和偏析等缺陷, 不易生成穩(wěn)定的

28、鈍化膜, 成為腐蝕的源區(qū)。非晶合金沒有這些缺陷和不均勻性, 能夠形成均勻鈍化膜, 因此, 非晶合金具有良好的耐腐蝕性能。</p><p>　　Zr 基非晶合金比晶體合金更耐腐蝕, 它的耐腐蝕性是不銹鋼的100 倍, 有“超不銹鋼”的美譽。含有少量鈮或鈦的 非晶合金, 在NaC1 溶液中的具有良好的抗腐蝕性能。 鑄態(tài)非晶合金在水中具有良好的耐腐蝕性能, 但隨水溫的升高, 其耐腐蝕性能有所下降, 這主要是由于在室溫時

29、, 非晶合金表面形成一層致密的保護膜, 而隨著水溫的升高膜越來越厚并形成多孔結(jié)構(gòu)。</p><p>　　1.2.3 加工性能</p><p>　　非晶合金的塑性變形量受溫度和應(yīng)力狀態(tài)影響很大, 在溫度低于玻璃轉(zhuǎn)變點Tg 時, 非晶合金以剪切方式變形。由于多數(shù)塊狀非晶合金都存在大的過冷液相區(qū), 當過冷液體的黏度達到Pa·s 數(shù)量級時, 過冷液體形成類似于氧化物玻璃的無序結(jié)構(gòu), 表

30、現(xiàn)為牛頓流動狀態(tài), 可在較寬的應(yīng)變率范圍內(nèi)發(fā)生黏性流動, 獲得極高的塑性形成能力。</p><p>　　1.3 真空獲得設(shè)備發(fā)展概述</p><p>　　1.3.1 真空技術(shù)發(fā)展簡介</p><p>　　隨著真空技術(shù)在各行各業(yè)應(yīng)用的日益寬泛和不可或缺,人們對實現(xiàn)和保證真空狀態(tài)下工藝過程的重復(fù)性可靠性及其技術(shù)進步,已在不斷地提出新的要求。這其中對真空成套設(shè)備,特別是

31、對真空獲得設(shè)備的性能、性價比和服務(wù)最為關(guān)切,當然還有工藝軟件、管理技術(shù)等。真空獲得技術(shù)是一切真空應(yīng)用的技術(shù)基礎(chǔ),真空獲得設(shè)備關(guān)系到所有真空應(yīng)用設(shè)備的運行和使用。真空獲得設(shè)備行業(yè)如何適應(yīng)我們不斷發(fā)展的真空事業(yè),如何滿足人們在性能、性價比和服務(wù)方面不斷提出的新要求?本文試圖通過對我國真空設(shè)備行業(yè)制造的,在應(yīng)用中量大面廣的水環(huán)泵、旋片泵、滑閥泵、羅茨泵、擴散泵等泵種的產(chǎn)能和質(zhì)量分析對比,給出其量和質(zhì)的基本狀況以及面對國內(nèi)外激烈的市場競爭所應(yīng)采

32、取的對策</p><p>　　1.3.2 綜合評價</p><p>　　我們真空設(shè)備行業(yè)制造的系列低端真空獲得設(shè)備產(chǎn)品在量的方面能夠滿足我國國民經(jīng)濟的需求,如往復(fù)泵、水環(huán)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等。這些泵種的技術(shù)經(jīng)濟指標近10年來有了一定程度的提高,在性能方面也基本上能夠滿足不同工藝過程的要求,目前在國內(nèi)有較高的市場占有率,在3~5年內(nèi)會有一定的生命力。</p>

33、<p>　　這些泵種必須進一步改進和創(chuàng)新,提高其關(guān)鍵的技術(shù)指標,如抽速與效率、極限壓力、返油率、噪聲、要降低能耗以取悅用戶、要減輕重量以降低成本。特別是要積極開展可靠性或壽命的實驗研究,要有效開展減振、降噪、消煙等研究,以滿足日益嚴格的環(huán)保要求,這些都是未來與外商品牌爭奪市場份額最主要的戰(zhàn)場。</p><p>　　配套附件研發(fā)和備件供應(yīng)是主機成熟的標志,如油霧撲集器、消音器、冷阱等。在國外這部分配套附件

34、和易損備件的銷售收入接近主機銷售收入的60%,利潤空間大,又能滿足客戶需求,還能使主機性能得以充分發(fā)揮。我們應(yīng)該重視配套附件研發(fā)和供應(yīng),并把這一工作列到主機的工作序列中去。</p><p>　　目前我國中外企業(yè)在生產(chǎn)品種上,除分子泵、少量的離子濺射泵外,其他高端真空獲得設(shè)備基本上是空白,如低溫泵、各式干泵等。我們可能有3~5年較為寬松的時空環(huán)境來研發(fā)高端真空獲得設(shè)備或提高其技術(shù)經(jīng)濟指標。面對IT行業(yè)不斷增長的巨大

35、需求,有條件的單位應(yīng)早做打算。綜合上述,我認為未來3~5年是決定我國真空獲得設(shè)備制造行業(yè)各個企業(yè)命運走向的關(guān)鍵時段。</p><p>　　2 鋯基非晶合金真空熔煉壓力熔滲爐真空系統(tǒng)設(shè)計 </p><p>　　2.1 工作原理及主要技術(shù)性能指標</p><p>　　真空感應(yīng)熔煉技術(shù)：利用電磁感應(yīng)與渦流熱的原理將金屬原材料融化，同時利用感應(yīng)熔煉的電動力效應(yīng)與攪拌原

36、理使合金各組分分布均勻。</p><p>　　壓力熔滲技術(shù)：使鎢絲與塊體非晶合金復(fù)合材料之間的界面處于理想狀態(tài)。</p><p>　　快速凝固技術(shù)：制備鎢絲增強的塊體非晶合金基復(fù)合材料。</p><p>　　本系統(tǒng)為三室立臥組合全不銹鋼式結(jié)構(gòu)。主要由“真空獲得及測量系統(tǒng)”,“感應(yīng)熔煉澆鑄系統(tǒng)”,“壓力熔滲系統(tǒng)及介質(zhì)冷卻快淬系統(tǒng)”,“電控系統(tǒng)”，“工作氣體充氣排氣系統(tǒng)

37、”，“工作臺架系統(tǒng)”、“冷卻水系統(tǒng)”等組成。</p><p>　　1極限真空度：熔煉室：6×10-4Pa（冷態(tài)）；熔滲室：6×10-4Pa（冷態(tài)）；快淬室6×10-1Pa；漏率<10-8Pa.L/s；</p><p>　　2感應(yīng)熔煉坩堝容量：≤10Kg(Fe)；采用電動翻轉(zhuǎn)機構(gòu)澆鑄方式；</p><p>　　3單爐每次產(chǎn)量5只鑄件

38、；</p><p>　　4感應(yīng)熔煉最高加熱溫度：1300℃；采用熱電偶測溫；</p><p>　　5感應(yīng)熔煉電源：60Kw/4KHz(IGBT)，風(fēng)冷； </p><p>　　6熔滲室內(nèi)保溫爐加熱均溫區(qū)高度300mm；熔滲室保溫電阻爐加熱電源: 20KW低壓直流加熱電源；熔滲室加熱器采用鉬片電熱元件；鉬+不銹鋼組合金屬筒屏蔽保溫；</p><p&

39、gt;　　7熔滲室加熱溫度：1000℃±2℃；PID控溫；溶滲室保護性氣氛壓力最大50Bar;溶滲室上蓋電動升降。</p><p>　　8熔滲室保護氣氛：氬氣，通過氬氣瓶向熔滲室充氣；排氣時，氣體排入儲氣罐；</p><p>　　9熔滲室設(shè)有保護性的安全閥及由壓力傳感器和充排氣系統(tǒng)組成的壓力自動控制系統(tǒng)；</p><p>　　10鑄模管內(nèi)部尺寸：Ø

40、;30×300；鑄模管石英件一套，鑄模管對開金屬模一套；</p><p>　　11控制模式分為手動繼電控制及計算機自動控制，兩種模式可切換；相關(guān)工藝參數(shù)及曲線可存儲及打??；</p><p>　　12.重要冷卻部位單獨設(shè)有水流保護聯(lián)鎖裝置；</p><p>　　2.2 真空獲得系統(tǒng)</p><p>　　2.2.1 真空機組選用原則

41、</p><p>　　1、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范

42、圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如

43、鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口</p><p>　　2.2.2 真空泵工作壓力范圍</p><p>　　根據(jù)設(shè)計要求真空室冷態(tài)極限真空為6×10-4 Pa，該真空爐真空系統(tǒng)為高真空系統(tǒng)。表1為目

44、前各種真空泵的工作壓力范圍，可獲得要求極限真空的泵有油擴散泵、鈦泵、渦輪分子泵、低溫泵。</p><p>　　鈦泵和低溫泵通常用在超高真空，在超高真空范圍，低溫泵是可以取代其它類泵的一種清潔抽氣設(shè)備。另外鈦泵由于鈦升華有污染，低溫泵在低溫下工作，因此這兩種泵都不適合作為此真空爐的主泵，此外這兩種泵價格也比較昂貴。油擴散泵抽氣速率大，也可滿足真空度的要求，缺點是有返油，使用起來也比較麻煩。</p>&

45、lt;p>　　表1各種真空泵工作壓力范圍</p><p>　　我國分子泵的抽速有110、150、450、550、600、1200、1600和3500等多種規(guī)格，國際上渦輪分子泵抽速從50已發(fā)展到25000（日本）甚至達40000（俄羅斯）。此真空爐用分子泵為主泵可滿足設(shè)計要求，分子泵工作環(huán)境清潔，無油，能耗低，啟?？?，缺點是應(yīng)避免抽除帶粉塵、腐蝕性或爆炸性氣體，價格較貴。</p><p&

46、gt;　　因此，該真空爐以分子泵為主泵，設(shè)計的真空系統(tǒng)如圖1所示。</p><p>　　1 旋片泵、 2 放氣閥、3羅茨泵 、4預(yù)抽泵閥I、5前級泵閥I、6分子泵I、7 高真空閥、8除塵器、9 熔煉室 、10 真空規(guī) 、11放氣閥I、 12壓力表閥、13壓力表、14 真空規(guī)II（ZDF-IV復(fù)合真空計）、15 真空規(guī)閥II 、16 放氣閥II、17 熔滲室、18預(yù)抽泵閥II、19高真空閥、20分子泵II、 21前

47、級泵閥II、 22羅茨泵II 、23前級管道放氣閥、24旋片泵II、 25放氣閥、26旁通閥III 、27高真空閥 、28羅茨泵III 、29前級泵閥III 、30 前級管道放氣閥III、 31 2X-70旋片式真空泵、32 真空規(guī)III、 33高壓閥</p><p><b>　　圖1 真空獲得系統(tǒng)</b></p><p><b>　　真空獲得方案簡圖<

48、;/b></p><p>　　2.2.3 旋片泵工作原理及其型號確定</p><p>　　2.2.3.1 旋片泵簡介</p><p>　　旋片式真空泵是利用轉(zhuǎn)子和可在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的旋片的旋轉(zhuǎn)運動以獲得真空的一種變?nèi)輽C械真空泵。當采用工作液來進行潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時，即為通常所稱的油封旋片真空泵。無工作液時，即為干式旋片真空泵。在油封旋片真

49、空泵中，國內(nèi)習(xí)慣上稱帶傳動的為旋片真空泵，而把泵與電動機直接連接或用聯(lián)軸器連接的稱為直聯(lián)旋片真空泵。在每種泵中，又有單級和雙級之分。在單級泵中，由于選用的結(jié)構(gòu)形式和參數(shù)不同，泵的極限壓力和用途也不同。它們的共同特點是結(jié)構(gòu)較簡單，使用方便，能從大氣壓力下起動，可直接排人大氣，偏心質(zhì)量較小，維護簡便，雙級系的極限壓力為6x10一2一lxro一ZPa，一種單級泵可達4Pa左右，另一種單級泵為50~200Pa左右。自1909年蓋德(W.Gaed

50、e)發(fā)明旋片泵并取得德國專利，1936年又發(fā)明氣鎮(zhèn)泵，1941年取得專利以來，旋片真空泵得到廣泛應(yīng)用和不斷完善。20世紀60年代末，國際上出現(xiàn)了提高轉(zhuǎn)速，直聯(lián)的小型化趨勢，70年代初出現(xiàn)了直聯(lián)系列產(chǎn)品，到80年代初，又推出了改進的系列產(chǎn)品，有多種可供用戶選配的附件，可以保護泵或保護環(huán)境，泵本身結(jié)構(gòu)也有改進而使可靠性提高。在泵的結(jié)構(gòu)方面，為</p><p>　　2.2.3.2 旋片泵結(jié)構(gòu)及工作原理</p&g

51、t;<p>　　如圖為旋片泵的工作原理示意圖，旋片泵主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結(jié)構(gòu)是利用偏心地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子（轉(zhuǎn)子的外圓與定子的內(nèi)表面相切兩者之間的間隙非常?。┖娃D(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內(nèi)壁的兩塊旋片，當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，始終沿定子的內(nèi)壁滑動。兩個旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個部分，當轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大，A空

52、間的壓強不斷的降低，當A空間內(nèi)的壓強低于被抽容器內(nèi)的壓強，根據(jù)氣體壓強平衡的原理，被抽的氣體不斷地被抽進吸氣腔A，此時正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小，壓力不斷地增大，此時正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的容積進一步地減小，C空間的壓強進一步的升高，當氣體的壓強大于排氣壓強時，被壓縮的氣體推開排氣閥，被抽的氣體不斷地穿過油箱內(nèi)的油層而排至大氣中，在泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)過程中，不斷地進行著吸氣、壓縮、排氣過程，從而達到連續(xù)抽氣的目

53、的。</p><p>　　排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中，油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內(nèi)所有運動的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封，同時油還充滿了一切有害空間，以消除它們對極限真空的影響。雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室是低真空級，Ⅱ室是高真空級，被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室，當進入的氣體壓力較高時，氣體經(jīng)Ⅱ室壓縮，壓強急速增大，被壓縮的氣體不僅從高級

54、排氣閥排出，而且經(jīng)過中壁通道，進入Ⅰ室，在Ⅰ室被壓縮，從低級排氣閥排出；當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經(jīng)Ⅱ室的壓縮，也推不開高級排氣閥排出，氣體全部經(jīng)中壁</p><p>　　通道進入Ⅰ室，經(jīng)Ⅰ室的繼續(xù)壓縮，由低級排氣閥排出，因此雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高</p><p>　　2.2.3.3 旋片泵型確定號</p><p>　　2XT-70機械

55、泵一臺 2XT-30機械泵一臺</p><p>　　TRP-48機械泵一臺</p><p>　　2.2.4 羅茨泵工作原理及其型號確定</p><p>　　用于較高真空的羅茨真空泵(機械增壓泵)不能直排大氣，如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成

56、羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達到較高真空必須保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設(shè)有前級泵，用前級泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍內(nèi)時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復(fù)式真空泵等可直排大氣的真空泵。　　羅茨泵－水環(huán)泵機組廣泛地用于化工、食品升華干燥、高空模擬試驗等的抽真空系統(tǒng)中。這類聯(lián)合機組

57、，大致有如下幾種類型?！　。?）羅茨泵－水環(huán)泵：機組中水環(huán)泵的作用是造成羅茨泵所需的預(yù)備真空，因此要求該水環(huán)泵的最大允許排氣壓力，即是說，一方面要盡量提高水環(huán)泵的極限真空，另一方面，也要設(shè)法提高羅茨泵的最大允許排氣壓力。 　　一般情況，單級水環(huán)泵極限真空度不高，而目前我國生產(chǎn)的羅茨泵要求的預(yù)真空又較高，故實際上不用單級水環(huán)泵作為羅茨泵的前級泵，而用能提高極限真空度的雙級水環(huán)泵作為前級泵使用，采</p><p>

58、;　　見圖3-55這樣，串聯(lián)一級大氣泵后的極限真空度可達20~30Torr,如果水環(huán)泵與二級大氣泵組合，則極限真空可達2~10Torr?！　。?）羅茨泵－水環(huán)泵并聯(lián)機械真空泵：此機組主要用于需要處理大量水蒸汽，且極限真空度要求較高的抽真空系統(tǒng)，例如在真空干燥方面?！　∫筇幚泶罅克羝恼婵障到y(tǒng)中，使用水環(huán)泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個機組的極限真空度較低。雖然在要求真空度較高的抽真空系統(tǒng)中，需要極限真空較高的機械真

59、空泵作為前級泵使用。但由于水環(huán)泵的耗電量大，效率很低，噪聲高，在需要長時間的真空干燥系統(tǒng)中，用水環(huán)泵作為羅茨泵前級泵很不經(jīng)濟。　　在上述情況下，可將氣鎮(zhèn)機械真空泵與水環(huán)泵并聯(lián)，作為羅茨泵的前級泵。真空干燥時，先用水環(huán)泵進行預(yù)抽，直至水蒸汽大量減少時，再開動氣鎮(zhèn)機械真空泵，切斷水環(huán)泵。如需要較長時間才能完成干燥的場合，所需冷卻水和功率都較少，如圖3所示。</p><p>　　2.2.4.2　　羅茨泵機組的運行　　

60、　?。?）機組前裝冷凝器　　為了盡量使機組的體積小些，可設(shè)法使待抽的蒸汽在進入泵機組之前冷凝，這樣剩下來的就是非可凝性氣體和微量殘余蒸汽。氣體降溫后在相同壓力下體積也減小。所以冷凝后所需抽氣量減小，相應(yīng)地泵也可以選得小一些?！　〔捎媚姆N方式較經(jīng)濟？應(yīng)視其具體情況而定，舉例說明如下：　　冷凝蒸汽有兩種方式：一種是安裝一臺冷卻裝置，另一種是在機組的高壓級中裝一臺冷凝器，以便能用普通的水冷卻。 　　其系統(tǒng)需要每小時抽除50kg的水蒸

61、汽量，在吸入壓力為1Torr時的容積流量為50000m3/h?！　?)要抽吸上述的水蒸汽量，需要三個羅茨泵串聯(lián)，并用一臺水環(huán)泵作前級組成的機組，該機組的總功率90kW。　　2）為了使蒸汽在到達真空泵之前冷凝，就要在位于A處裝一個冷凝器和一個功率為30000kcal/h的冷卻裝置，如圖4所示。在1Torr的吸入壓力下，水蒸汽的冷凝溫度均為-19℃，為了能保證連續(xù)工作，應(yīng)取冷凝裝置的冷凝溫度為-25℃，且并聯(lián)安裝2臺冷凝器。根據(jù)非冷凝氣

62、體的組成部分計算得，真空泵的抽氣量就可以降低到1000~2000m3/h，總機組（</p><p>　　主要設(shè)備的功用簡介如下：　?。?）真空閥　　關(guān)閉真空閥，機組停止運行，可保持干燥系統(tǒng)一定的真空度。　?。?）自動氣動安全閥　　為防止機組突然停車時水環(huán)泵系統(tǒng)中的水向羅茨泵及真空干燥系統(tǒng)中倒灌。　?。?）壓差閥　　機組開始運行時，先啟動水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產(chǎn)生壓差，達到一定值時，閥自動開啟，使系統(tǒng)中大部

63、分氣體經(jīng)此閥流進水環(huán)泵。當大氣逐漸通過大氣泵流進水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關(guān)閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預(yù)抽時間。</p><p>　　2.2.5 羅茨泵真空機組抽氣速率</p><p>　　Qe=SP/T=SvPv/Tv (1)羅茨泵的有效壓縮比為羅茨泵進出口壓力比,

64、即Ke=Pv/P (2)羅茨泵的理論壓縮比Kth為羅茨泵的理論抽速與前級泵的抽速之比,即Kth=Sth/Sv (3)由(2)、(3)、式可得 (4)將(3)、(6)式代入(7)式可得 (5)羅茨泵的實際抽速與羅茨泵的理論抽速之比,即為羅茨泵的容積效率ηv,也即羅

65、茨真空機組的容積效率。 (6)</p><p>　　化簡得 (7)</p><p>　　相應(yīng)羅茨泵機組的抽速

66、 (8)根據(jù)前級泵的進口壓力Pv,羅茨泵在進口壓力P下的有效抽速,通過(8)式可變換為下式計算</p><p>　　當已知前級泵的抽氣速率,此時機組的有效抽速　　 </p><p>　　2.2.6 分子泵工作原理及其型號確定</p><p>　　2.2.6.1 分子泵工作原理分子泵是用高速旋轉(zhuǎn)的動

67、葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。 </p><p>　　結(jié)構(gòu)和工作原理 1958年，聯(lián)邦德國的W.貝克首次提出有實用價值的渦輪分子泵，以后相繼出現(xiàn)了各種不同結(jié)構(gòu)的分子泵，主要有立式和臥式兩種,圖1為立式渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)圖。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動系統(tǒng)等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150～400米／秒)。單個

68、葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖2為20個動葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。 </p><p>　　圖3為一個動葉片的工作示意圖。在運動葉片兩側(cè)的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側(cè)(圖3a),當氣體分子到達A點附近時

69、，在角度α1內(nèi)反射的氣體分子回到左側(cè)；在角度β1內(nèi)反射的氣體分子一部分回到左側(cè)，另一部分穿過葉片到達右側(cè)；在角度γ1內(nèi)反射的氣體分子將直接穿過葉片到達右側(cè)。同理，在葉輪右側(cè)(圖3b),當氣體分子入射到B點附近時，在α2角度內(nèi)反射的氣體分子將返回右側(cè)；在β2角度內(nèi)反射的氣體分子一部分到達左側(cè)，另一部分返回右側(cè)；在γ2角度內(nèi)反射的氣體分子穿過葉片到達左側(cè)。傾斜葉片的運動使氣體分子從左側(cè)穿過葉片到達右側(cè)，比從右側(cè)穿過葉片到達左側(cè)的幾率大得多。

70、葉輪連續(xù)旋轉(zhuǎn)，氣體分子便不斷地由左側(cè)流向右側(cè)，從而產(chǎn)生抽氣作用。  性能和特點 泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外，還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為108～109;對氫為102～104；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。泵的極限壓力為10-9帕,工作壓力范圍為10-1～10-8帕,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1升＝10-3米3)。渦輪

71、分子泵必須在分子流狀</p><p>　　2.2.6.3 分子泵型號確定 FF250-1600C分子泵

72、 F400/3500分子泵</p><p>　　3 熔煉室殼體計算</p><p>　　大多數(shù)真空室的殼體都是圓形的，原因是制造容易且強度好。真空室除用板材制造外，對于直徑較小的真空室筒體亦可用熱軋無縫鋼管制造。圓筒體焊制后應(yīng)進行整形和矯直。本設(shè)計真空室殼體大小為φ800×750

73、mm，采用1Cr18Ni9Ti作為真空室材料。⑴ 計算殼體壁厚 圓筒殼體只承受外壓時，可按穩(wěn)定條件計算，其壁厚為：p—外壓設(shè)計壓力[MPa]；真空容器選擇p=0.5MPa（加上水壓0.4MPa）；L—圓筒長度[mm]；L=750mm；Et—材料溫度為t時的彈性模量[MPa]；查表得Et=1.8×MPa；</p><p>　　代入公式計算得 ×=5.84mm；<

74、/p><p>　　壁厚附加量 ； (2.2)</p><p>　　式中 —鋼板的最大負公差附加量[mm]；查表取1mm；</p><p>　　—腐蝕裕度[mm]；查得為2mm；</p><p>　　—封頭沖壓時的拉伸減薄量；取值為1mm；</p><

75、p>　　圓筒的實際壁厚應(yīng)為 S=+C=5.84+1+2+1=9.84mm；取整為10mm；</p><p>　?、?對真空室殼體進行強度計算</p><p>　　對真空室殼體強度計算應(yīng)按薄殼理論進行驗算。所謂薄殼就是其厚度大大小于它的曲率半徑。</p><p>　　即應(yīng)滿足 ≤0.04

76、 (2.3)</p><p>　　則 = =0.0125≤0.04 即滿足使用條件。</p><p>　　4 熔滲爐的殼體設(shè)計與壁厚計算</p><p>　　4.1 殼體壁厚計算</p><p>　　設(shè)計壓力是指設(shè)定的容器頂部的最高壓力，與相應(yīng)的設(shè)計溫度一起作為設(shè)計

77、載荷條件。設(shè)計壓力從概念上說不同于容器的工作壓力。工作壓力是由工藝過程決定的，在工作過程中工作壓力可能是變動的，同時在容器的頂部和底部壓力也可能是不同的。</p><p>　　容器的工作壓力既然可能是變動的，所以將容器在正常操作情況下容器頂部可能出現(xiàn)的最高工作壓力稱為容器的最大工作壓力。容器的設(shè)計壓力應(yīng)該高于其最大工作壓力。</p><p>　　我們知道容器的最大工作壓力為1.8MPa，設(shè)

78、計壓力一般取值為最高工作壓力的1.05～1.10倍。至于是取1.05還是取1.10，就取決于介質(zhì)的危害性和容器所附帶的安全裝置。介質(zhì)無害或裝有安全閥等就可以取下限1.05，否則就取上限1.10?？紤]到高溫等不確定因素，取上限值1.1.。</p><p>　　的選擇: 焊縫區(qū)是容器上強度比較薄弱的地方。焊縫區(qū)強度降低的原因在于焊接時可能出現(xiàn)缺陷；焊接熱影響區(qū)往往形成粗大晶粒區(qū)而使強度和塑性降低；由于結(jié)構(gòu)鋼性約束造成

79、焊接內(nèi)應(yīng)力過大。</p><p>　　焊接區(qū)強度主要決定于熔焊金屬，焊縫結(jié)構(gòu)和施焊質(zhì)量。因此在設(shè)計時應(yīng)考慮母材的可焊性與焊接件的結(jié)構(gòu)，選擇適當?shù)暮笚l和焊接工藝，而后按焊接接頭型式和焊縫的無損探傷檢驗要求，選取焊接接頭系數(shù)。</p><p>　　推薦的焊接接頭系數(shù)如下：</p><p>　　雙面焊的對接焊縫：① 100％無損探傷 ＝1.0 </p>

80、<p>　?、诰植繜o損探傷＝0.85</p><p>　　單面焊的對接焊縫：① 100％無損探傷 ＝0.9 </p><p>　?、诰植繜o損探傷＝0.8</p><p>　?、?、雙面焊的對接焊縫：無無損探傷 ＝0.8</p><p>　?、?、單面焊的對接焊縫：無無損探傷 ＝0.6</p><p>　

81、　JB 4732標準中要求受壓元件焊縫必須100無損檢測，所以本次設(shè)計取焊縫系數(shù)為1.00</p><p><b>　　內(nèi)壁計算具體如下：</b></p><p>　　筒內(nèi)要求工作壓力1.8Mpa</p><p><b>　　Di＝400mm</b></p><p>　　設(shè)計壓力 P=1.1

82、5;1.8MPa =1.98MPa</p><p>　　壁厚：在1.98MPa</p><p>　　查壓力容器設(shè)計手冊知，1Cr18Ni9Ti在400℃材料的許用應(yīng)力為 =108MPa </p><p>　　由公式計算內(nèi)壓圓筒壁厚為：</p><p>　　= 6 mm </p><p><b>　　

83、2)強度校核</b></p><p>　?、?內(nèi)壓筒壁校核公式</p><p>　　上述計算所以滿足要求</p><p>　?、谌萜鲀?nèi)壓圓筒最高許可工作壓力</p><p><b>　　=</b></p><p><b>　　=</b></p>&l

84、t;p>　　4.2 筒體上部大法蘭的設(shè)計計算</p><p>　　又計算式4-14[2]得蓋厚</p><p>　　其中t——蓋的厚度mm</p><p>　　其中Dc——計算直徑mm</p><p>　　p——設(shè)計壓力MPa</p><p>　　——工作溫度下材料許用應(yīng)力MPa</p><

85、p><b>　　——焊縫系數(shù)</b></p><p>　　C——壁厚附加量mm</p><p>　　K——結(jié)構(gòu)特征系數(shù)K=0.14（表4-26[2]）</p><p><b>　　所以　　mm</b></p><p>　　所選法蘭蓋的厚度為36mm,滿足要求。</p><p

86、>　　采用M1690螺栓20個，低合金螺栓1Cr18Ni9Ti，200C以下許用應(yīng)力</p><p><b>　　螺栓承受拉力：</b></p><p><b>　　=</b></p><p><b>　　=</b></p><p><b>　　=</b&

87、gt;</p><p><b>　　=</b></p><p>　　所以上述計算滿足要求。</p><p>　　5 真空室抽氣時間計算</p><p>　　5.1 氣體沿管道流動狀態(tài)及流導(dǎo)計算</p><p><b>　　氣體分子平均自由程</b></p>

88、<p><b>　　對于20 的空氣</b></p><p><b>　　=</b></p><p><b>　　=</b></p><p>　　式中 ——平均自由程[m]</p><p>　　n——氣體分子數(shù)密度[]</p><p>　　—

89、—氣體分子直徑[m]</p><p>　　T——氣體熱力學(xué)溫度[K]</p><p>　　k——玻耳茲曼常數(shù)，</p><p>　　p——氣體的壓力[Pa]</p><p>　　氣體的內(nèi)摩擦（粘滯性）</p><p>　　各層之間的遷移量是動量，根據(jù)遷移方程列出內(nèi)摩擦方程</p><p><

90、;b>　　=</b></p><p>　　由于麥克斯韋速度分布，方程式變?yōu)?lt;/p><p>　　式中 L——內(nèi)摩擦力[N]</p><p>　　——氣體分子的平均自由程[m]</p><p>　　——氣體分子熱運動的平均速度[m/s]</p><p>　　——氣體的密度[kg/]取1.293<

91、/p><p><b>　　S——面積[]</b></p><p>　　——氣體的粘滯系數(shù)[Pa·s]</p><p>　　T——氣體熱力學(xué)溫度[K]，去293K</p><p>　　M——氣體的摩爾質(zhì)量[kg/mol]，取0.29kg/mol</p><p>　　——氣體分子直徑[m]，取m

92、</p><p>　　C——肖節(jié)倫德常數(shù)[K]</p><p><b>　　代入公式得</b></p><p>　　氣體量 </p><p>　　流量 Q=pS</p><p><b>　　流阻 </b></p>

93、<p>　　G——氣體量[Pa·或Pa·L]</p><p><b>　　t——時間[s]</b></p><p>　　S——抽速[L/s]</p><p><b>　　p——壓力[Pa]</b></p><p>　　Q——流量[Pa·L/s]</p&

94、gt;<p>　　W——流阻[s/L]</p><p>　　V——氣體體積[L]</p><p>　　氣體沿管道流動的狀態(tài)可分為4種：湍流、粘滯流、粘滯—分子流和分子流。</p><p>　　湍流：當氣體壓力和流速較高時，氣體流動是由慣性力在起作用，氣體流線不直，也不規(guī)則，而是出于漩渦狀態(tài)，即漩渦有時出現(xiàn)有時消失。管路中沒一點氣體的壓力和流速隨時間變化

95、。氣體分子的運動速度和方向與氣流的平均速度和氣流的方向大致相同。實驗證明，管道中氣體的流量與氣體壓力梯度的平方根成正比，即。</p><p>　　粘滯流：粘滯流出現(xiàn)于氣體壓力較高、流速較小的情況下，通常發(fā)生在低真空管路中。它的慣性力很小，氣體內(nèi)摩擦力起主要作用。流線的方向為直線，只是在管道的不規(guī)則處稍許玩去。管道中的氣體流量與壓力梯度成正比，即 。管壁附近的氣體幾乎不流動，一層氣體在另一層氣

96、體上滑動，流速的最大值在管道的中心。氣體分子的平均自由程比管道截面線性尺寸小的多。</p><p>　　分子流:分子流出現(xiàn)于管道壓力很低時，一般出現(xiàn)于高真空管道中。此時氣體分子的平均自由程（管道直徑），分子之間碰撞次數(shù)很少，主要與管壁發(fā)生碰撞。每次碰撞之后，分子向前或向后運動。經(jīng)數(shù)次后，部分分子有低壓端離開管道；有的返回到高壓端。</p><p>　　粘滯—分子流：介于粘滯流和分子流之間的

97、流動狀態(tài)。</p><p>　　Re>2200 為湍流</p><p>　　Re<1200 為粘滯流</p><p>　　1200<Re<2200為湍流或粘滯流</p><p><b>　　Re—雷諾系數(shù)</b></p><p>　　式中： w—氣體流速[m/s]

98、</p><p>　　d—管道當量直徑，對于圓管道即為幾何直徑[m]</p><p><b>　　—氣體密度</b></p><p>　　—氣體粘滯系數(shù)[kg/(m·s)]</p><p><b>　　機械泵啟動時</b></p><p>　　管道中氣體流動狀態(tài)為湍

99、流</p><p><b>　　羅茨泵啟動時</b></p><p>　　1200<Re<2200為湍流或粘滯流</p><p><b>　　對于20空氣</b></p><p>　　管道直徑d，通過的氣體流量為Q則</p><p><b>　　=14.

100、54</b></p><p>　　則為湍流到粘滯流過渡狀態(tài)，此狀態(tài)時間甚短，常以湍流計算</p><p>　　但由于時間過短則以粘滯流計算</p><p><b>　　=0.0478</b></p><p>　　式中 ——長管對20空氣的流導(dǎo)</p><p><b&

101、gt;　　d——管道直徑</b></p><p><b>　　L——管道長度</b></p><p>　　——管道中平均壓力， 分別為管道兩端氣體壓力</p><p><b>　　分子泵啟動時</b></p><p>　　管道中氣體流動狀態(tài)為分子流

102、</p><p><b>　　分子流時管道的流導(dǎo)</b></p><p>　　長度L20d的管道稱為短管。d為管道直徑。在分子流時其流導(dǎo)</p><p><b>　　對于20的空氣</b></p><p>　　式中 ——分子流時圓截面短管流導(dǎo)[/s]</p><p>　　—

103、—分子流時20空氣圓截面短管流導(dǎo)[/s]</p><p>　　——圓孔流導(dǎo)[/s]</p><p><b>　　——圓孔面積[]</b></p><p>　　——克勞辛系數(shù),如表</p><p>　　長度L20d的管道稱為長管。其流導(dǎo)為</p><p>　　式中 ——分子流時圓截面短管流導(dǎo)[/s

104、]</p><p>　　d ——管道直徑[m]</p><p>　　L ——管道長度[m]</p><p>　　R ——摩爾氣體常數(shù)，8.3143[J/(K·mol)]</p><p>　　M ——氣體摩爾質(zhì)量[kg/mol]</p><p>　　T ——氣體溫度[K]</p><p>

105、;<b>　　數(shù)據(jù)代入公式可得：</b></p><p>　　5.2 抽氣時間計算</p><p>　　5.2.1 粗真空、低真空下抽氣時間</p><p>　　5.2.1.1 機械泵抽氣時間</p><p>　　真空室抽氣口處泵的有效抽速</p><p><b>　　根據(jù)流量定義

106、</b></p><p>　　泵口壓力 泵的抽速 泵抽走的氣體流量</p><p><b>　　通過入口的氣流量</b></p><p>　　在動態(tài)平衡時，流經(jīng)任意截面的氣體流量相等。得</p><p><b>　　則</b></p><p>　　當流導(dǎo)

107、很大時，U》Sp由于流導(dǎo)較大=150L/s抽速只受泵的限制</p><p>　　在粗真空、低真空下，真空設(shè)備本身內(nèi)表面的出氣量與設(shè)備總的氣體負荷相比，可以忽略不計。在這種情況下一般不考慮出氣影響。</p><p>　　漏氣量很小忽略不計時，真空設(shè)備從壓力降到p所需要的抽氣時間t</p><p>　　當流導(dǎo)很大時，即U》Sp則，此時</p><p&

108、gt;<b>　　機械泵的抽氣時間</b></p><p><b>　　式中t——抽氣時間</b></p><p>　　Sp——泵的名義抽速</p><p><b>　　V——真空設(shè)備容積</b></p><p>　　p——經(jīng)抽氣后的壓力</p><p>

109、;　　——開始抽氣時的壓力</p><p>　　——修正系數(shù)，與設(shè)備抽氣終止時壓強有關(guān)</p><p>　　5.2.1.2 羅茨泵機組抽氣時間</p><p><b>　　羅茨泵零流量壓縮比</b></p><p>　　式中 P ——羅茨泵進口壓力。</p><p>　　——羅茨泵的理論抽速(

110、幾何抽速) =150 L/s</p><p>　　——羅茨泵的泄漏流量,Qb=U(Pv-P)</p><p>　　U ——轉(zhuǎn)子各部間隙泄漏流導(dǎo)與轉(zhuǎn)子有害空間往返流量</p><p>　　Pv——羅茨泵出口壓力,當忽略前級管路流阻時,即為前級泵進口壓力</p><p><b>　　當流導(dǎo)為U時</b></p>

111、<p><b>　　=12080</b></p><p>　　式中 t——抽氣時間</p><p><b>　　V——真空設(shè)備容積</b></p><p><b>　　S——泵的有效抽速</b></p><p>　　Sp——泵的名義抽速</p>&l

112、t;p>　　p——設(shè)備經(jīng)t時間的抽氣后的壓力</p><p>　　——設(shè)備開始抽氣式的壓力</p><p>　　5.2.2 高真空下抽氣時間計算</p><p>　　在高真空領(lǐng)域內(nèi)，真空設(shè)備內(nèi)材料的出氣可以忽略是，真空室的抽氣時間計算與低真空抽氣計算相同。</p><p>　　由于高真空泵的抽速較大，這段時間很短。實際上高真空餓抽氣時

113、間，主要取決于材料出氣。</p><p>　　在剛開始抽氣的幾十小時內(nèi)，材料出氣率是變量，因而真空室的總出氣量隨抽氣時間而衰減。計算到達某以壓力所需時間由總出氣量和泵（或機組）的有效抽速的比值決定。一般可用查材料出氣率曲線和繪圖法進行計算。</p><p><b>　　結(jié) 論</b></p><p>　　高真空的獲得是鋯基非晶合金熔煉溶滲的必

114、要條件，直接影響到鋯基非晶合金的性能。通過查閱大量的書籍與文獻，確定了真空獲得系統(tǒng)的各個結(jié)構(gòu)，并在設(shè)計過程中通過認真的計算分析、校核確定了各部件的尺寸及型號，最終完成了真空獲得系統(tǒng)的設(shè)計。</p><p>　　本課題中對真空熔煉爐的設(shè)計，還有很多結(jié)構(gòu)需要改進、完善和優(yōu)化。雖然本課題設(shè)計的真空熔煉爐基本上能滿足使用要求。但是在熔煉時，手工操作比較多，費時費力，如果能實現(xiàn)智能化，通過計算機控制各個熔煉步驟，自動監(jiān)測真